X-Ray数字图像平板探测器阵列基板的设计

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第1章 绪论	第9-15页
·课题背景	第9-10页
·国内外 X-Ray 探测发展技术简介	第10-12页
·胶片成像系统	第11页
·计算机 X-Ray 成像系统	第11-12页
·数字 X-Ray 成像系统	第12页
·研究 X-Ray 平板图像探测器的目的及意义	第12-14页
·本论文主要研究内容	第14-15页
第2章 数字 X-Ray 平板探测器工作原理	第15-21页
·数字化 X-Ray 平板探测器的组成	第15-17页
·从 X-Ray 转换层角度区分探测器	第15-16页
·从信号检测的角度区分探测器	第16-17页
·数字 X-Ray 探测器工作基本原理	第17-19页
·平板探测器 Array 阵列基板的设计指标	第19页
·本章小结	第19-21页
第3章 TFT 阵列基板的工艺研究	第21-36页
·掩膜曝光—光刻工艺	第21-23页
·磁控溅射 Sputter 镀膜工艺	第23-26页
·磁控溅射的原理	第23-25页
·Sputter 溅射工艺的条件	第25-26页
·等离子体增强化学气相淀积 PECVD 工艺	第26-32页
·等离子体与成膜原理	第27-28页
·TFT 薄膜的生成机制	第28-30页
·PECVD 设备系统	第30-32页
·刻蚀工艺	第32-35页
·干法刻蚀	第32-34页
·湿法刻蚀	第34-35页
·本章小结	第35-36页
第4章 TFT 阵列基板的设计	第36-46页
·版图绘制	第36-39页
·像素等效电路及充电率模拟	第39-41页
·开态电流与关态电流	第41-43页
·跳变电压与延迟分析	第43-45页
·跳变电压	第43-44页
·延迟分析	第44-45页
·本章小结	第45-46页
第5章 Array 基板流片及结果测试	第46-51页
·像素阵列图案鉴定	第46-47页
·SEM 扫描电镜测试分析	第47-49页
·I/V 特性曲线测试	第49-50页
·本章小结	第50-51页
结论与展望	第51-52页
参考文献	第52-58页
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果	第58-59页
致谢	第59页