基于MEMS的压电超声微换能器的设计、仿真和实验
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| ·前言 | 第8-9页 |
| ·选题依据 | 第9-11页 |
| ·文献回顾 | 第11-22页 |
| ·声频定向文献回顾 | 第11-14页 |
| ·微扬声器文献回顾 | 第14-19页 |
| ·PZT 制备文献回顾 | 第19-22页 |
| ·研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 压电超声微换能器单元的优化 | 第23-48页 |
| ·理论基础 | 第23-31页 |
| ·压电基础 | 第23-25页 |
| ·机电耦合系数 | 第25-29页 |
| ·机电耦合系数的定义 | 第25-27页 |
| ·常见压电陶瓷振动模式 | 第27-28页 |
| ·有效机电耦合系数 | 第28-29页 |
| ·声学基础 | 第29-31页 |
| ·单元结构 | 第31-32页 |
| ·单元优化 | 第32-46页 |
| ·优化方法 | 第32-33页 |
| ·振幅考虑 | 第33-41页 |
| ·理论模型 | 第34-37页 |
| ·上电极尺寸优化 | 第37-39页 |
| ·PZT/Si 厚度之比优化 | 第39-41页 |
| ·机电耦合系数考虑 | 第41-43页 |
| ·与电容式换能器的比较 | 第41-42页 |
| ·PZT/Si 厚度之比优化 | 第42-43页 |
| ·优化结果 | 第43-44页 |
| ·有限元分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第三章 压电超声微换能器阵列的优化 | 第48-58页 |
| ·基本概念 | 第48-50页 |
| ·换能器阵列指向性 | 第48-49页 |
| ·指向性函数 | 第49-50页 |
| ·阵列型式 | 第50-51页 |
| ·阵列优化 | 第51-56页 |
| ·理论模型 | 第51-52页 |
| ·主瓣宽度 | 第52-53页 |
| ·单元个数 | 第53-54页 |
| ·单元间距 | 第54-56页 |
| ·优化结果 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 压电超声微换能器制作 | 第58-66页 |
| ·PZT/Si 接合法文献回顾 | 第58-60页 |
| ·压电超声微换能器加工 | 第60-63页 |
| ·压电超声微换能器样品 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 压电超声微换能器性能测试 | 第66-76页 |
| ·微观结构 | 第66-69页 |
| ·铁电性能 | 第69-70页 |
| ·频响测试 | 第70-71页 |
| ·声压测试 | 第71-73页 |
| ·指向性能 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 结论 | 第76-78页 |
| ·工作总结 | 第76-77页 |
| ·工作展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第84-85页 |
