| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-10页 |
| ·DLC薄膜的发展史 | 第7页 |
| ·DLC薄膜的研究现状 | 第7-8页 |
| ·本课题的研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·本课题的研究内容 | 第9-10页 |
| 第二章 DLC薄膜简介 | 第10-20页 |
| ·DLC膜的结构及分类 | 第10-12页 |
| ·DLC膜的性能 | 第12-14页 |
| ·DLC膜的应用 | 第14-16页 |
| ·DLC膜的制备方法 | 第16-20页 |
| 第三章 用RF-PECVD制备类金刚石薄膜 | 第20-30页 |
| ·等离子体 | 第20-21页 |
| ·RF-PECVD技术 | 第21-24页 |
| ·RF-PECVD法制备DLC膜 | 第24-30页 |
| 第四章 类金刚石膜的表征 | 第30-36页 |
| ·结构和成分表征 | 第30-33页 |
| ·表面形貌的表征 | 第33-34页 |
| ·硬度的表征 | 第34-35页 |
| ·表面粗糙度的表征 | 第35-36页 |
| 第五章 工艺参数对DLC膜性能影响分析 | 第36-44页 |
| ·工艺参数对沉积速率的影响 | 第36-39页 |
| ·工艺参数对硬度的影响 | 第39-42页 |
| ·工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第42-44页 |
| 结论 | 第44-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第50页 |