Cr掺杂ZnO薄膜的结构和性质研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章:引言 | 第10-24页 |
| ·背景及意义 | 第10-11页 |
| ·ZnO的性能 | 第11-19页 |
| ·ZnO的晶格结构 | 第11-12页 |
| ·ZnO的光电特性 | 第12-14页 |
| ·ZnO的压电和热电特性 | 第14页 |
| ·ZnO的铁磁特性及磁性起源机制 | 第14-19页 |
| ·ZnO薄膜的用途 | 第19-21页 |
| ·压电器件 | 第19-20页 |
| ·太阳能电池 | 第20页 |
| ·气敏器件 | 第20-21页 |
| ·压敏器件 | 第21页 |
| ·缓冲层 | 第21页 |
| ·本文研究的思路和主要内容 | 第21-23页 |
| 参考文献 | 第23-24页 |
| 第二章:Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的制备技术 | 第24-36页 |
| ·ZnO薄膜制备方法的介绍 | 第24-29页 |
| ·化学气相沉积法 | 第24-26页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第26页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第26-28页 |
| ·分子束外延法 | 第28页 |
| ·原子层外延生长法 | 第28页 |
| ·磁控溅射法 | 第28-29页 |
| ·磁控溅射原理 | 第29-31页 |
| ·实验工艺流程 | 第31-35页 |
| ·基片清洗 | 第32-33页 |
| ·抽真空 | 第33页 |
| ·射频溅射 | 第33页 |
| ·样品测试 | 第33-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第三章:实验仪器和表征手段 | 第36-47页 |
| ·样品的实验制备仪器 | 第36-37页 |
| ·样品的表征手段 | 第37-46页 |
| ·膜厚的测量 | 第37-39页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第39-41页 |
| ·扫描电子显微镜分析(SEM) | 第41-43页 |
| ·拉曼(Raman)散射 | 第43页 |
| ·光学透射 | 第43-44页 |
| ·磁性分析(SQUID) | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 第四章:Cr掺杂ZnO薄膜的结构 | 第47-54页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的XRD分析 | 第47-50页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的SEM分析 | 第50页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的Raman分析 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-54页 |
| 第五章:Cr掺杂ZnO薄膜的性质 | 第54-63页 |
| ·Zn1-xCrxO薄膜的光学性质 | 第54-58页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的透射谱分析 | 第54-55页 |
| ·吸收系数和光学带隙 | 第55-57页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的PL谱分析 | 第57-58页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的磁学性质 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |
| 第六章:结论 | 第63-65页 |
| 硕士期间发表论文目录 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 详细摘要 | 第67-69页 |
