| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-29页 |
| ·课题的背景及意义 | 第14-16页 |
| ·研究的现状 | 第16-27页 |
| ·理论研究 | 第16-22页 |
| ·热释电效应 | 第16页 |
| ·铁电薄膜的热力学理论 | 第16-22页 |
| ·热释电薄膜的研究现状 | 第22-27页 |
| ·本文的主要工作 | 第27-29页 |
| ·研究的主要内容 | 第27-28页 |
| ·本论文的内容安排 | 第28-29页 |
| 第二章 热释电热力学理论的建立 | 第29-52页 |
| ·热释电理论 | 第29-35页 |
| ·铁电相变的热力学理论基础 | 第29-33页 |
| ·热释电效应的晶格振动理论 | 第33-35页 |
| ·传统热释电晶体的热力学模型及模拟 | 第35-38页 |
| ·热力学模型推导 | 第35-37页 |
| ·对热释电晶体的模拟 | 第37-38页 |
| ·热释电晶体赝热力学模型及模拟 | 第38-45页 |
| ·热释电系数与系统熵 | 第38-39页 |
| ·铁电相与顺电相相变熵值的设定 | 第39-40页 |
| ·热释电模型的建立 | 第40-42页 |
| ·理论验证 | 第42-45页 |
| ·热释电多晶薄膜的热力学平衡模型 | 第45-51页 |
| ·热力学平衡模型的假设及推导 | 第45-46页 |
| ·热力学平衡模型的推导 | 第46-48页 |
| ·不同热释电多晶薄膜的模拟曲线 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第三章 BST薄膜的性能研究 | 第52-76页 |
| ·引言 | 第52-54页 |
| ·磁控溅射制备Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜 | 第54-60页 |
| ·工艺过程 | 第54-55页 |
| ·磁控溅射装置及实验条件 | 第55-56页 |
| ·BST薄膜结构分析与形貌 | 第56-57页 |
| ·结构分析 | 第56页 |
| ·BST薄膜的形貌分析 | 第56-57页 |
| ·BST薄膜的介电特性 | 第57-59页 |
| ·BST薄膜的铁电特性 | 第59页 |
| ·BST薄膜的漏电流特性 | 第59-60页 |
| ·溶胶-凝胶法制备Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3薄膜及性能研究 | 第60-72页 |
| ·溶胶凝胶法的基本原理 | 第60-61页 |
| ·实验过程 | 第61-64页 |
| ·溶胶的制备 | 第61-62页 |
| ·成膜及薄膜的热处理 | 第62-64页 |
| ·溶胶的热分析 | 第64-65页 |
| ·BST薄膜的表面形貌 | 第65-70页 |
| ·基底Pt/Ti/SiO_2/Si的形貌 | 第65-66页 |
| ·BST薄膜的表面形貌 | 第66-70页 |
| ·BST薄膜的介电性能研究 | 第70-72页 |
| ·BST薄膜介电频谱特性 | 第70-71页 |
| ·BST薄膜的介电—温度特性 | 第71-72页 |
| ·薄膜的C-V特性研究 | 第72页 |
| ·热力学平衡模型的应用 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第四章 掺杂改性BST薄膜的性能研究 | 第76-97页 |
| ·前言 | 第76-81页 |
| ·掺杂类型与取代机理 | 第76-77页 |
| ·不等价取代 | 第76页 |
| ·等价掺杂 | 第76-77页 |
| ·取代机理 | 第77页 |
| ·掺杂工艺对介电性能影响的研究 | 第77-80页 |
| ·不等价掺杂BST工艺的研究进展 | 第77-80页 |
| ·等价掺杂工艺研究进展 | 第80-81页 |
| ·锡掺杂BST薄膜 | 第81-87页 |
| ·XRD分析 | 第81-82页 |
| ·AFM分析 | 第82-83页 |
| ·BSTS薄膜的介温特性 | 第83-86页 |
| ·BSTS薄膜的铁电性能 | 第86-87页 |
| ·La掺杂BST薄膜及BST/BSLaT/BST多层膜的性能 | 第87-93页 |
| ·XRD分析 | 第87-88页 |
| ·AFM分析 | 第88-89页 |
| ·介电性能 | 第89-91页 |
| ·铁电性能 | 第91-92页 |
| ·漏电流特性 | 第92-93页 |
| ·热力学平衡模型的应用 | 第93-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第五章 BST薄膜的界面效应研究 | 第97-115页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·Pt在BST薄膜中扩散的研究 | 第97-105页 |
| ·XRD分析 | 第97-98页 |
| ·AFM分析 | 第98页 |
| ·BST薄膜的AES和XPS分析 | 第98-105页 |
| ·LNO薄膜的性能 | 第105-109页 |
| ·LNO薄膜的制备 | 第105页 |
| ·LNO薄膜的结构与表面形貌 | 第105-108页 |
| ·LNO薄膜的结构 | 第105-106页 |
| ·LNO薄膜的表面形貌 | 第106-108页 |
| ·LNO薄膜的电性能 | 第108-109页 |
| ·BSTS薄膜沉积于LNO电极的性能 | 第109-114页 |
| ·BSTS薄膜的结构与形貌 | 第109-110页 |
| ·BSTS薄膜的结构 | 第109-110页 |
| ·BSTS薄膜的表面形貌 | 第110页 |
| ·介电性能 | 第110-113页 |
| ·BSTS薄膜的漏电流特性 | 第113-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 第六章 结论 | 第115-118页 |
| ·全文工作总结 | 第115-117页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第117页 |
| ·展望 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-129页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第129-130页 |
