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ZnO纳米棒/金刚石复合结构的制备及电学性质研究

中文摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-29页
   ·引言第11页
   ·ZnO 的基本性质、制备及应用第11-23页
     ·ZnO 的基本性质第12-15页
     ·ZnO 纳米材料的制备第15-16页
     ·ZnO 纳米材料的应用第16-23页
   ·金刚石的基本性质及应用第23-27页
     ·金刚石的晶体结构第23-24页
     ·金刚石的性质第24-25页
     ·硼掺杂金刚石的应用第25-27页
   ·ZnO 和金刚石复合结构的研究进展第27页
   ·本文的选题背景和研究内容第27-29页
第二章 金刚石衬底上 ZnO 纳米棒的外延生长第29-45页
   ·引言第29页
   ·实验设备第29-32页
     ·高温管式电阻炉设备第29-31页
     ·MPCVD 设备及操作第31-32页
   ·实验过程第32-33页
     ·CVD 金刚石薄膜的制备及处理第32-33页
     ·ZnO 纳米棒的制备第33页
     ·样品表征第33页
   ·实验结果与分析第33-43页
     ·生长时间对金刚石基 ZnO 纳米棒生长的影响第33-35页
     ·金刚石晶粒尺寸对 ZnO 纳米棒生长的影响第35-37页
     ·多晶金刚石膜上 ZnO 纳米棒的生长过程和生长机理第37-38页
     ·金刚石晶面对 ZnO 纳米棒生长的影响第38-40页
     ·(111)和(001)面金刚石与 ZnO 纳米棒的外延关系分析第40-43页
   ·本章小结第43-45页
第三章 n 型 ZnO 纳米棒/p 型金刚石异质结制备及电学性质研究第45-63页
   ·引言第45页
   ·实验设备第45-47页
     ·高温管式电阻炉设备第45页
     ·石英管式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置第45-46页
     ·射频磁控溅射设备第46-47页
   ·实验过程第47-51页
     ·硼掺杂 CVD 金刚石膜的制备第47-49页
     ·ZnO 纳米棒的制备第49页
     ·ZnO 薄膜的制备第49页
     ·样品表征第49-50页
     ·n 型 ZnO 纳米棒/p 型金刚石异质结结构的制作第50-51页
   ·实验结果与分析第51-60页
     ·硼掺杂金刚石膜及生长 ZnO 纳米棒的结构形貌和XRD第51-52页
     ·轻重硼掺杂金刚石膜上生长 ZnO 纳米棒的 Raman 分析第52-53页
     ·n 型 ZnO 纳米棒/ p 型金刚石异质结(非简并)的整流特性第53-55页
     ·n 型 ZnO 纳米棒/ p 型金刚石(简并)异质结的微分负阻特性第55-60页
     ·n 型 ZnO 薄膜/ p 型金刚石(简并)异质结的整流特性第60页
   ·本章小结第60-63页
第四章 n 型 ZnO 纳米棒/p 型金刚石异质结高温电学性质第63-69页
   ·引言第63页
   ·实验过程第63-64页
   ·实验结果与分析第64-68页
   ·本章小结第68-69页
第五章 结论与展望第69-71页
   ·全文总结第69-70页
   ·工作展望第70-71页
参考文献第71-87页
攻读博士期间发表的学术论文第87-89页
作者简历第89-91页
致谢第91页

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