KBA X射线显微镜研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-30页 |
| ·X射线成像方法简述 | 第10-24页 |
| ·X射线的透射成像 | 第13-15页 |
| ·X射线的衍射成像 | 第15-17页 |
| ·X射线的折射成像 | 第17-18页 |
| ·X射线的反射成像 | 第18-24页 |
| ·惯性约束聚变 | 第24-27页 |
| ·惯性约束聚变的基本原理 | 第24-25页 |
| ·ICF的国内外研究现状 | 第25-27页 |
| ·掠入射X射线显微镜的国内外研究现状 | 第27-28页 |
| ·本文研究目的及内容安排 | 第28-30页 |
| 2 KB与KBA X射线显微镜的成像原理 | 第30-42页 |
| ·KB型X射线的结构特性及参数计算 | 第30-34页 |
| ·单镜成像特性 | 第30-34页 |
| ·KBA型X射线显微镜的结构特点 | 第34-40页 |
| ·双反射镜的成像特性 | 第34-37页 |
| ·光阑位置的选择 | 第37-40页 |
| ·关于掠入射角 | 第40-41页 |
| ·消像散考虑 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 3 KBA型X射线显微镜的设计 | 第42-51页 |
| ·结构参数选择及计算 | 第42-43页 |
| ·非共轴系统的程序设计 | 第43-46页 |
| ·光线分析方法 | 第46-50页 |
| ·用自编程序分析KBA型X射线显微镜的光线 | 第46页 |
| ·用ZEMAX光学设计程序计算 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 KBA显微镜像差分析 | 第51-57页 |
| ·像散 | 第51-52页 |
| ·视场倾斜 | 第52-53页 |
| ·球差 | 第53-55页 |
| ·慧差 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 KBA显微镜成像质量评价 | 第57-71页 |
| ·点列图分析 | 第57-62页 |
| ·光学传递函数的基本理论 | 第62-66页 |
| ·不变线性系统及其传递函数 | 第63-66页 |
| ·光学传递函数的计算方法 | 第66页 |
| ·几何传递函数的分析 | 第66-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 6 KBA显微镜系统参数误差分析 | 第71-80页 |
| ·KBA显微镜系统参数对成像的影响 | 第71-72页 |
| ·物距对成像的影响 | 第72-73页 |
| ·离焦对成像的影响 | 第73-74页 |
| ·曲率半径对成像质量的影响 | 第74-76页 |
| ·双反射镜夹角对成像质量的影响 | 第76-78页 |
| ·掠入射角对成像的影响 | 第78-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 7 KBA X射线显微镜的反射率 | 第80-95页 |
| ·引言 | 第80页 |
| ·麦克斯韦方程的微分形式 | 第80-87页 |
| ·单一界面的反射率 | 第84-86页 |
| ·多层膜的反射率 | 第86-87页 |
| ·材料光学常数与原子散射因子的关系 | 第87-88页 |
| ·影响反射率的因素 | 第88-90页 |
| ·界面粗糙度对反射率的影响 | 第89页 |
| ·掠入射角对反射率的影响 | 第89-90页 |
| ·波长对反射率的影响 | 第90页 |
| ·KBA反射率的计算 | 第90-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 8 KBA装调过程要中解决的几个问题 | 第95-105页 |
| ·双反射镜夹角的控制 | 第95-96页 |
| ·锐聚焦位置的确定 | 第96-98页 |
| ·掠入射角的确定 | 第98页 |
| ·主镜转动角度的确定 | 第98-103页 |
| ·分辨率测量 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 9 总结与展望 | 第105-107页 |
| ·总结 | 第105-106页 |
| ·展望 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-114页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第114-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
