| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| ·气体传感器技术及发展现状 | 第8-14页 |
| ·NO_2 及NH_3 传感器研究现状 | 第14-20页 |
| ·本论文选题及主要工作体系 | 第20-22页 |
| 第二章 敏感薄膜制备工艺及分析测试方法 | 第22-29页 |
| ·敏感材料的成膜工艺 | 第22-23页 |
| ·薄膜主要分析方法介绍 | 第23-25页 |
| ·气体敏感特性的测试 | 第25-28页 |
| ·本章小节 | 第28-29页 |
| 第三章 器件结构选择与设计分析 | 第29-35页 |
| ·器件结构的比较与选择 | 第29-31页 |
| ·微电极传感器参数分析 | 第31-32页 |
| ·微电极及引线的制备 | 第32-34页 |
| ·微电极器件结构与膜厚的关系 | 第34页 |
| ·本章小节 | 第34-35页 |
| 第四章 敏感膜的制备和分析 | 第35-47页 |
| ·PEDT 薄膜的制备与分析 | 第35-40页 |
| ·真空蒸发法制备有机小分子薄膜及分析 | 第40-44页 |
| ·旋涂法制备有机小分子薄膜及分析 | 第44-46页 |
| ·本章小节 | 第46-47页 |
| 第五章 薄膜的气敏性测试 | 第47-59页 |
| ·PEDT 膜气体敏感特性测试与结果讨论 | 第47-48页 |
| ·TCNQ 蒸发薄膜气体敏感特性测试和结果分析 | 第48-50页 |
| ·酞菁锡蒸发薄膜气体敏感特性测试和结果分析 | 第50-52页 |
| ·酞菁锡旋涂薄膜对氧化氮的敏感性测试和结果分析 | 第52-55页 |
| ·TCNQ 旋涂薄膜对氨气的敏感特性测试和结果分析 | 第55-58页 |
| ·本章小节 | 第58-59页 |
| 第六章 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·本文研究结论 | 第59-60页 |
| ·本论文工作展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 个人简历 | 第65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65页 |