| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·课题背景及相关知识介绍 | 第10-18页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·纳米科学与技术 | 第11-12页 |
| ·原子力显微镜（Atomic Force Microscope－AFM） | 第12-18页 |
| ·课题完成的任务 | 第18-19页 |
| ·课题的创新处 | 第19页 |
| ·论文结构 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-22页 |
| 第二章 硅针尖导电性能的研究 | 第22-31页 |
| ·实验设备及试剂 | 第22-23页 |
| ·实验过程 | 第23-25页 |
| ·实验结果及讨论 | 第25-29页 |
| ·硅针尖（去除氧化层前后）与金针尖电特性比较 | 第25-26页 |
| ·悬臂梁上施力对导电AFM 模式下硅针尖阈值电压的影响 | 第26-27页 |
| ·湿度对I－V 曲线的影响 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 参考文献 | 第30-31页 |
| 第三章 针尖上自组装单层膜的活化及表征 | 第31-45页 |
| ·针尖电场的模拟 | 第31-32页 |
| ·力曲线表征针尖/样品间力的作用 | 第32-33页 |
| ·硅针尖进行OTS 自组装膜修饰及电场作用结果表征 | 第33-36页 |
| ·实验部分 | 第33-34页 |
| ·针尖上OTS 自组装膜电场作用前后表面性质表征 | 第34-36页 |
| ·针尖上OTS 自组装膜电场作用后化学力滴定检测 | 第36-39页 |
| ·实验部分 | 第36-37页 |
| ·结果与讨论 | 第37-39页 |
| ·硅针尖上烯烃自组装膜的电场作用及其表征 | 第39-43页 |
| ·实验部分 | 第39-40页 |
| ·烯烃硅针尖电场作用前后性质表征 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第四章 针尖电场对有机单层膜的刻蚀研究 | 第45-58页 |
| ·前言 | 第45页 |
| ·OTS 在硅片表面的成膜及AFM 针尖电场活化研究 | 第45-52页 |
| ·实验研究 | 第46-47页 |
| ·针尖电场活化硅片上OTS 单层膜研究 | 第47-52页 |
| ·在硅氢表面烯烃自组装膜的形成及其氧化过程的AFM 研究 | 第52-56页 |
| ·实验研究 | 第52-54页 |
| ·硅片上正13 烯烃薄膜活化条件 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·工作总结 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 附表1 VBScript 程序实现 | 第61-63页 |
| 附表2 Matlab 程序实现曲线数据分析 | 第63-66页 |
| 作者在读硕士期间发表的论文 | 第66页 |
