用元胞自动机方法模拟硅的各向异性腐蚀
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·MEMS简介 | 第8-9页 |
| ·MEMS的材料和加工工艺 | 第9页 |
| ·材料 | 第9页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第9页 |
| ·MEMS CAD | 第9-10页 |
| ·课题的背景及意义 | 第10-12页 |
| ·几何模型 | 第10-11页 |
| ·元胞自动机模型 | 第11-12页 |
| ·课题的意义 | 第12页 |
| ·本课题的主要工作 | 第12-13页 |
| 第二章 硅的各向异性腐蚀和元胞自动机 | 第13-31页 |
| ·硅的各向异性腐蚀 | 第13-24页 |
| ·腐蚀机理 | 第13页 |
| ·影响腐蚀速率的相关因素及常用腐蚀系统简介 | 第13-19页 |
| ·KOH系统 | 第14-16页 |
| ·EPW(EDP)系统 | 第16-19页 |
| ·其它腐蚀系统 | 第19页 |
| ·凸角腐蚀及凸角补偿 | 第19页 |
| ·在MEMS加工中的作用与实际应用 | 第19-24页 |
| ·浓硼重掺杂自停止技术简介 | 第20-22页 |
| ·浓硼重掺杂自停止技术的应用 | 第22-24页 |
| ·元胞自动机理论简介 | 第24-28页 |
| ·一维元胞自动机 | 第25-26页 |
| ·二维元胞自动机 | 第26-27页 |
| ·三维元胞自动机 | 第27-28页 |
| ·硅的各向异性腐蚀的几种CA模型 | 第28-30页 |
| ·普通CA算法 | 第28页 |
| ·随机CA算法 | 第28-29页 |
| ·连续CA算法 | 第29-30页 |
| ·动态CA算法 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 二维连续CA模型的建立、推广 | 第31-37页 |
| ·元胞自动机模型 | 第31-33页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 三维连续CA模型的建立、模拟及实验 | 第37-50页 |
| ·3-D连续CA模型的建立 | 第37-44页 |
| ·时间补偿的基本原理 | 第37-39页 |
| ·模型的建立 | 第39-44页 |
| ·表层元胞二维CA模型的建立 | 第41-42页 |
| ·内部元胞三维CA模型的建立 | 第42-44页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 各向异性腐蚀与其它加工工艺的混合模拟 | 第50-58页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·混合工艺及模型 | 第50-52页 |
| ·模拟与讨论 | 第52-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 展望 | 第58-60页 |
| ·MEMS CAD系统与工艺模拟 | 第58页 |
| ·CA方法在MEMS加工工艺模拟中的应用 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 图表索引 | 第67-69页 |
| 发表论文及申请专利 | 第69页 |
