| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-27页 |
| ·陀螺概述 | 第8-9页 |
| ·陀螺的分类 | 第9-14页 |
| ·机械转子陀螺 | 第10-11页 |
| ·光学陀螺 | 第11-12页 |
| ·振动式陀螺 | 第12-14页 |
| ·微机械陀螺发展现状 | 第14-21页 |
| ·本论文工作的目的及内容安排 | 第21-23页 |
| 参考文献 | 第23-27页 |
| 第二章 微机械陀螺基础 | 第27-47页 |
| ·振动式微机械陀螺基本原理 | 第27-35页 |
| ·Coriolis效应 | 第27-29页 |
| ·动力学方程 | 第29-35页 |
| ·微机械陀螺的驱动和检测 | 第35-38页 |
| ·电磁驱动与反馈 | 第35-36页 |
| ·电容检测 | 第36-38页 |
| ·微机械陀螺中的空气阻尼 | 第38-41页 |
| ·压膜阻尼 | 第38-39页 |
| ·滑膜阻尼 | 第39-41页 |
| ·微机械陀螺中的正交误差 | 第41-43页 |
| ·寄生Coriolis力 | 第43-44页 |
| ·轴向加速度的影响 | 第44页 |
| ·小结 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 第三章 音叉式微机械陀螺的设计与分析 | 第47-72页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·音叉式微机械陀螺结构及工作原理 | 第48-50页 |
| ·弹性梁结构的设计 | 第50-57页 |
| ·音叉式微机械陀螺的动力学设计及模拟 | 第57-63页 |
| ·驱动模态的设计 | 第57-58页 |
| ·检测模态的设计 | 第58-62页 |
| ·音叉式微机械陀螺中的空气阻尼 | 第62-63页 |
| ·音叉式微机械陀螺的电学结构设计 | 第63-66页 |
| ·音叉式微机械陀螺的噪声特性分析 | 第66-68页 |
| ·音叉式微机械陀螺对轴向加速度的响应 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-72页 |
| 第四章 音叉式微机械陀螺的制作 | 第72-85页 |
| ·音叉式微机械陀螺的工艺步骤 | 第72-74页 |
| ·深反应离子刻蚀工艺中存在的问题及其解决方法 | 第74-79页 |
| ·音叉式微机械陀螺的封装 | 第79-80页 |
| ·工艺误差对陀螺性能的影响 | 第80-83页 |
| ·小结 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-85页 |
| 第五章 音叉式微机械陀螺动力学等效电路模型及接口电路设计 | 第85-103页 |
| ·音叉式微机械陀螺等效电路模型 | 第85-91页 |
| ·驱动电学模型的建立 | 第85-87页 |
| ·检测电学模型的建立 | 第87-88页 |
| ·音叉式微机械陀螺动力学等效电路模型 | 第88-91页 |
| ·音叉式微机械陀螺接口电路的设计 | 第91-101页 |
| ·驱动电路的设计 | 第91-95页 |
| ·检测电路的设计 | 第95-96页 |
| ·陀螺接口电路的性能测试 | 第96-101页 |
| ·小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-103页 |
| 第六章 音叉式微机械陀螺性能测试 | 第103-120页 |
| ·驱动模态的频率特性 | 第103-105页 |
| ·检测模态的频率特性 | 第105-109页 |
| ·音叉式微机械陀螺角速度的测试 | 第109-110页 |
| ·音叉式微机械陀螺的耦合特性 | 第110-111页 |
| ·音叉式微机械陀螺的轴向加速度响应特性 | 第111-114页 |
| ·音叉式微机械陀螺的噪声特性测试 | 第114-117页 |
| ·音叉式微机械陀螺的零点稳定性测试 | 第117-118页 |
| ·小结 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-120页 |
| 第七章 总结 | 第120-122页 |
| 攻读博士期间发表的文章及申请的专利 | 第122-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 个人简历 | 第124-125页 |