光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究
| 第一章 绪论 | 第1-16页 |
| ·光学薄膜的历史和现状 | 第6-7页 |
| ·光学薄膜设计及制备技术简介 | 第7-13页 |
| ·光学薄膜的设计与优化 | 第7-8页 |
| ·光学薄膜制备技术 | 第8-13页 |
| ·本课题的研究意义、内容和目的 | 第13-16页 |
| 第二章 光学薄膜厚度监控技术 | 第16-33页 |
| ·概述 | 第16-17页 |
| ·光学薄膜监控方法简介 | 第17-29页 |
| ·目视法 | 第17-18页 |
| ·极值法 | 第18-23页 |
| ·波长调制法 | 第23-27页 |
| ·任意厚度的监控方法 | 第27-29页 |
| ·光学薄膜自动监控技术 | 第29-33页 |
| ·光学薄膜自动监控技术的优点 | 第29-30页 |
| ·光学薄膜自动监控技术的发展回顾 | 第30-33页 |
| 第三章 光学薄膜厚度监控及反演的计算基础 | 第33-48页 |
| ·薄膜厚度监控的理论及计算基础 | 第33-37页 |
| ·薄膜厚度监控信号的理论计算 | 第33-35页 |
| ·镀膜过程中对监控特性的修正 | 第35-37页 |
| ·在线反演 | 第37-42页 |
| ·概述 | 第37页 |
| ·在线反演的计算推导 | 第37-42页 |
| ·最优化在反演中的应用 | 第42-48页 |
| ·最优化简介 | 第42-44页 |
| ·反演过程中的最优化的应用 | 第44-48页 |
| 第四章 光学薄膜厚度实时监控系统 | 第48-63页 |
| ·系统简介 | 第48-49页 |
| ·硬件组成 | 第49-52页 |
| ·高精度A／D模块 | 第49-50页 |
| ·单片机系统 | 第50-52页 |
| ·计算机客户端软件 | 第52-61页 |
| ·操作界面 | 第52-53页 |
| ·膜系监控参数输入模块 | 第53-57页 |
| ·监控信号处理模块 | 第57-59页 |
| ·监控信号分析、判断模块 | 第59页 |
| ·日志 | 第59-61页 |
| ·系统应用实例 | 第61-63页 |
| 第五章 总结和展望 | 第63-65页 |
| ·课题总结 | 第63-64页 |
| ·课题展望 | 第64-65页 |
| 硕士阶段发表的文章 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
