准分子激光微加工控制系统研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·微机械的国内外研究概况 | 第9-10页 |
| ·美国微机械发展 | 第9-10页 |
| ·日本微机械发展 | 第10页 |
| ·德国微机械发展 | 第10页 |
| ·我国微机械发展 | 第10页 |
| ·微机械的制作方法 | 第10-12页 |
| ·硅平面工艺 | 第10-11页 |
| ·同步辐射LIGA工艺 | 第11页 |
| ·超精密加工工艺和放电加工技术 | 第11-12页 |
| ·准分子激光LIGA工艺 | 第12页 |
| ·准分子激光微加工 | 第12-17页 |
| ·准分子激光器 | 第12-13页 |
| ·准分子激光微加工的优点 | 第13-14页 |
| ·准分子激光微加工的两种方式 | 第14页 |
| ·准分子激光微加工系统 | 第14-15页 |
| ·准分子激光微加工控制系统研究现状 | 第15-17页 |
| ·本论文研究内容和目标 | 第17页 |
| ·论文结构 | 第17-18页 |
| 第2章 硬件控制系统设计 | 第18-37页 |
| ·整体结构 | 第18-19页 |
| ·硬件控制系统设计 | 第19-32页 |
| ·硬件功能规划 | 第19页 |
| ·计数器／定时器选用 | 第19-21页 |
| ·X、Y、Z轴运动控制模块 | 第21-24页 |
| ·转动平台控制模块 | 第24-27页 |
| ·激光外触发控制模块 | 第27-29页 |
| ·地址译码电路控制模块 | 第29-30页 |
| ·运动方向和GAET门控制模块 | 第30-31页 |
| ·I／O检测控制电路模块 | 第31-32页 |
| ·控制卡地址分配 | 第32-35页 |
| ·控制卡1地址设计 | 第32-33页 |
| ·控制卡2地址设计 | 第33-35页 |
| ·控制卡IO接口定义 | 第35-36页 |
| ·I／O接口定义 | 第35-36页 |
| ·接口特点 | 第36页 |
| ·步进电机驱动器特点及性能指标 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 准分子激光微制造插补算法的建立 | 第37-52页 |
| ·插补算法的选择 | 第37-38页 |
| ·插补算法介绍 | 第37-38页 |
| ·插补算法的选择依据 | 第38页 |
| ·直线插补 | 第38-42页 |
| ·逐点比较法直线插补的构造 | 第38-39页 |
| ·插补算法的优化 | 第39-41页 |
| ·直线插补在其它象限的扩展 | 第41-42页 |
| ·直线插补程序的实现 | 第42页 |
| ·逐点比较法圆弧插补 | 第42-52页 |
| ·逐点比较法圆弧插补的构造 | 第42-45页 |
| ·插补算法的优化 | 第45-46页 |
| ·圆弧插补程序的实现 | 第46-47页 |
| ·圆弧插补在其它象限的扩展 | 第47-48页 |
| ·圆弧插补自动过象限的实现 | 第48-52页 |
| 第4章 控制软件MEMS CNC设计实现 | 第52-73页 |
| ·控制卡底层驱动程序概述 | 第52-54页 |
| ·控制软件MEMS CNC特点 | 第52-53页 |
| ·硬件端口访问函数 | 第53-54页 |
| ·8254的软件编程实现 | 第54-57页 |
| ·8254寻址过程 | 第54-55页 |
| ·8254的初始化 | 第55-56页 |
| ·基本控制指令 | 第56-57页 |
| ·X、Y、Z轴运动的控制实现 | 第57-60页 |
| ·实际控制项目 | 第57-58页 |
| ·XYZ运动正常结束的检测 | 第58-60页 |
| ·转动平台转动的控制实现 | 第60页 |
| ·掩模板和衰减器转动的控制实现 | 第60-63页 |
| ·准分子激光外触发的控制实现 | 第63-64页 |
| ·光栅尺的使用控制 | 第64-65页 |
| ·光栅尺的初始化 | 第64-65页 |
| ·光栅尺的补偿控制实现 | 第65页 |
| ·数控G指令数据文件格式加工控制 | 第65-69页 |
| ·准分子激光微加工G指令 | 第65-67页 |
| ·准分子激光微加工M指令 | 第67-69页 |
| ·CAD数据文件格式加工方式 | 第69页 |
| ·控制软件用户界面设计 | 第69-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 准分子激光微加工实验研究 | 第73-79页 |
| ·准分子激光器 | 第73页 |
| ·微动工作台 | 第73-74页 |
| ·与其它加工方法的比较 | 第74-75页 |
| ·加工参数的影响 | 第75-76页 |
| ·微通道的刻蚀实验 | 第76-78页 |
| ·补偿加工 | 第76页 |
| ·微通道的刻蚀实验 | 第76-78页 |
| ·微锥体的刻蚀抛光实验 | 第78页 |
| ·小结 | 第78-79页 |
| 结论 | 第79-80页 |
| 附录 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
