| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·研究背景和意义 | 第8页 |
| ·SCB简介 | 第8-14页 |
| ·SCB的结构 | 第8-10页 |
| ·SCB芯片的加工 | 第10-11页 |
| ·SCB火工品的封装 | 第11页 |
| ·SCB作用机理 | 第11-12页 |
| ·SCB的发展 | 第12-14页 |
| ·半导体器件失效分析 | 第14-15页 |
| ·半导体器件失效分析的发展 | 第14页 |
| ·半导体器件常见失效模式 | 第14页 |
| ·半导体器件主要失效机理 | 第14-15页 |
| ·本文主要研究的内容和方法 | 第15-17页 |
| 2 试验设计 | 第17-24页 |
| ·试验目的 | 第17页 |
| ·试验原理 | 第17-20页 |
| ·温度和湿度的性质 | 第17页 |
| ·温度加速寿命试验原理 | 第17-19页 |
| ·高温高湿加速寿命试验原理 | 第19页 |
| ·热冲击试验原理 | 第19-20页 |
| ·试验标准 | 第20页 |
| ·高温加速寿命试验标准 | 第20页 |
| ·高温高湿加速寿命试验标准 | 第20页 |
| ·热冲击试验标准 | 第20页 |
| ·试验样品 | 第20-21页 |
| ·试验截尾技术 | 第21-22页 |
| ·试验条件 | 第22-23页 |
| ·SCB失效判据 | 第23-24页 |
| 3 试验结果 | 第24-30页 |
| ·高温加速寿命试验结果 | 第24页 |
| ·高温高湿加速寿命试验结果 | 第24-26页 |
| ·热冲击试验结果 | 第26-27页 |
| ·SCB电阻温度实验结果及分析 | 第27-30页 |
| 4 SCB失效分析 | 第30-51页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·SCB失效机理 | 第30-41页 |
| ·Al丝剥蚀失效 | 第30-32页 |
| ·断脚失效 | 第32-36页 |
| ·Al丝点蚀失效 | 第36-41页 |
| ·典型半导体器件失效因素对 SCB可靠性的影响分析 | 第41-49页 |
| ·非平衡载流子的复合对 SCB的影响分析 | 第41-45页 |
| ·金属迁移对 SCB的影响分析 | 第45页 |
| ·击穿对 SCB的影响分析 | 第45-46页 |
| ·铝金属化再结构对 SCB的影响分析 | 第46-47页 |
| ·Au-Al化合物对 SCB的影响分析 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 5 贮存寿命估算 | 第51-55页 |
| ·温度应力下 SCB的贮存寿命 | 第51页 |
| ·温湿度应力下SCB的贮存寿命 | 第51-54页 |
| ·贮存寿命概况 | 第51-52页 |
| ·贮存寿命的计算 | 第52-54页 |
| ·SCB抵抗温度剧变能力检验 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62-84页 |
| 附表1 高温加速寿命试验1#样品发火时间显著性检验 | 第62-63页 |
| 附表2 高温加速寿命试验2#样品发火时间显著性检验 | 第63-64页 |
| 附表3 高温加速寿命试验3#样品发火时间显著性检验 | 第64-65页 |
| 附表4 高温加速寿命试验11#样品发火时间显著性检验 | 第65-66页 |
| 附表5 高温加速寿命试验12#样品发火时间显著性检验 | 第66-67页 |
| 附表6 高温加速寿命试验13#样品发火时间显著性检验 | 第67-68页 |
| 附表7 高温高湿加速寿命试验5#样品发火时间显著性检验 | 第68-69页 |
| 附表8 高温高湿加速寿命试验6#样品发火时间显著性检验 | 第69-70页 |
| 附表9 高温高湿加速寿命试验8#样品发火时间显著性检验 | 第70-71页 |
| 附表10 高温高湿加速寿命试验9#样品发火时间显著性检验 | 第71-72页 |
| 附表11 高温高湿加速寿命试验11#样品发火时间显著性检验 | 第72-73页 |
| 附表12 高温高湿加速寿命试验12#样品发火时间显著性检验 | 第73-74页 |
| 附表13 高温高湿加速寿命试验1#样品发火时间显著性检验 | 第74-75页 |
| 附表14 高温高湿加速寿命试验2#样品发火时间显著性检验 | 第75-76页 |
| 附表15 高温高湿加速寿命试验3#样品发火时间显著性检验 | 第76-77页 |
| 附表16 高温高湿加速寿命试验4#样品发火时间显著性检验 | 第77-78页 |
| 附表17 高温高湿加速寿命试验14#样品发火时间显著性检验 | 第78-79页 |
| 附表18 热冲击试验5#样品发火时间显著性检验 | 第79-80页 |
| 附表19 热冲击试验6#样品发火时间显著性检验 | 第80-81页 |
| 附表20 热冲击试验8#样品发火时间显著性检验 | 第81-82页 |
| 附表21 热冲击试验9#样品发火时间显著性检验 | 第82-83页 |
| 附表22 热冲击试验11#样品发火时间显著性检验 | 第83-84页 |
| 附表23 热冲击试验12#样品发火时间显著性检验 | 第84页 |
