| 目录 | 第1-7页 |
| CONTENTS | 第7-10页 |
| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-30页 |
| ·课题研究背景 | 第13-17页 |
| ·MEMS技术进展 | 第13-14页 |
| ·微流体系统概述 | 第14-15页 |
| ·微流体的特性 | 第15-17页 |
| ·微流体驱动与控制技术的分类及研究现状 | 第17-27页 |
| ·本课题的研究目的及意义 | 第27-28页 |
| ·课题来源 | 第28页 |
| ·本文的主要工作 | 第28-30页 |
| 第二章 压电晶体的压电特性与振动模式 | 第30-38页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·压电效应 | 第30-32页 |
| ·压电晶体的特性常数 | 第32-34页 |
| ·压电晶体的介电常数 | 第32-33页 |
| ·压电晶体的弹性常数 | 第33-34页 |
| ·压电晶体的压电常数 | 第34页 |
| ·压电本构方程 | 第34-35页 |
| ·压电振子的振动模态 | 第35-36页 |
| ·压电振子的谐振特性 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第三章 超声行波微流体驱动机理的研究 | 第38-47页 |
| ·驻波与行波 | 第38-39页 |
| ·驻波 | 第38页 |
| ·行波 | 第38-39页 |
| ·驻波的产生与行波的合成 | 第39-41页 |
| ·驻波的产生 | 第39页 |
| ·行波的合成 | 第39-41页 |
| ·超声行波微流体驱动模型的理论分析 | 第41-46页 |
| ·行波声场中的非线性声学现象 | 第41-42页 |
| ·驱动模型与驱动机理 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 圆环形超声行波微流体驱动模型的动力学分析 | 第47-67页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·有限元分析的基础理论 | 第47-51页 |
| ·有限元法 | 第47-49页 |
| ·ANSYS软件介绍 | 第49-51页 |
| ·压电陶瓷的有限元模型 | 第51-54页 |
| ·耦合场分析 | 第54-55页 |
| ·圆环形模型的模态分析 | 第55-63页 |
| ·结构的模态分析原理 | 第55-57页 |
| ·圆环形模型的模态仿真 | 第57-61页 |
| ·结构参数对固有频率的影响 | 第61-63页 |
| ·圆环形模型的谐响应分析 | 第63-66页 |
| ·结构动态响应分析原理 | 第63-64页 |
| ·模型的谐响应分析 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 圆环形超声行波微流体驱动模型的声固耦合分析 | 第67-81页 |
| ·声学基础 | 第67-69页 |
| ·声学基本概念 | 第67-68页 |
| ·理想流体媒质中的三个基本方程 | 第68-69页 |
| ·声波的三维波动方程 | 第69页 |
| ·声场有限元分析理论 | 第69-74页 |
| ·无衰减声波的有限元分析 | 第69-72页 |
| ·衰减声波的有限元分析 | 第72-73页 |
| ·声场声固耦合问题 | 第73-74页 |
| ·圆环形声固耦合模型的建模 | 第74-77页 |
| ·声固耦合模型模态分析的有限元计算 | 第77-80页 |
| ·声固耦合有限元模型的模态分析 | 第77-78页 |
| ·声固耦合有限元模型与结构模型的模态对比分析 | 第78-79页 |
| ·流体介质密度和声速对耦合模型的固有频率的影响 | 第79-80页 |
| ·小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| ·总结 | 第81页 |
| ·展望 | 第81-83页 |
| 附录 | 第83-97页 |
| 附录 1: ANSYS圆环形模型动力学分析核心程序 | 第83-90页 |
| 附录 2: ANSYS声固耦合分析核心程序 | 第90-97页 |
| 参考文献 | 第97-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第104-105页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第105页 |