纳米薄膜非平衡热导率的理论与实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-25页 |
| ·课题背景 | 第10-12页 |
| ·纳米薄膜综述 | 第12-17页 |
| ·纳米薄膜分类 | 第12-13页 |
| ·纳米薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| ·纳米薄膜的特性及应用 | 第15-17页 |
| ·国内外研究进展 | 第17-22页 |
| ·薄膜热传导 | 第18-21页 |
| ·非平衡态薄膜热传导 | 第21-22页 |
| ·课题研究内容及意义 | 第22-25页 |
| ·研究内容 | 第22-23页 |
| ·课题意义 | 第23-25页 |
| 2 纳米薄膜结构的非平衡热传导理论 | 第25-37页 |
| ·纳米粒子周围的非平衡热传导 | 第25-28页 |
| ·纳米粒子热通量 | 第25-28页 |
| ·纳米粒子等效热导率 | 第28页 |
| ·声子在纳米结构中的传输 | 第28-36页 |
| ·界面的声子非平衡运输 | 第29-33页 |
| ·纳米薄膜的非平衡传热 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 热导率实验方案 | 第37-57页 |
| ·实验方法选择 | 第37-42页 |
| ·稳态光加热法 | 第37-39页 |
| ·瞬态光加热法 | 第39-40页 |
| ·稳态电加热法 | 第40-41页 |
| ·瞬态电加热法 | 第41-42页 |
| ·3ω方法实验原理 | 第42-45页 |
| ·样品标准及加热器的选择 | 第45-48页 |
| ·实验样品的选择标准 | 第45页 |
| ·微加热器材料的选择 | 第45-46页 |
| ·微加热器的制作 | 第46-48页 |
| ·实验台搭建要求 | 第48-50页 |
| ·实验台的标定 | 第50-55页 |
| ·SiO_2 薄膜制备 | 第50-52页 |
| ·测试 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 4 Si_3N_4薄膜非平衡热导率实验 | 第57-74页 |
| ·选材原因 | 第57页 |
| ·Si_3N_4 薄膜性能及应用 | 第57-61页 |
| ·光学性能及应用 | 第58页 |
| ·钝化性能及应用 | 第58-59页 |
| ·其它性能及应用 | 第59-61页 |
| ·Si_3N_4 薄膜制备 | 第61-64页 |
| ·实验设备 | 第61-62页 |
| ·制备过程 | 第62-63页 |
| ·性能检测 | 第63-64页 |
| ·实验样品加工 | 第64-66页 |
| ·实验 | 第66-73页 |
| ·实验步骤 | 第66页 |
| ·低频段实验 | 第66-71页 |
| ·高频段实验 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 5. 结果分析 | 第74-90页 |
| ·导热系数与温度的关系 | 第74-75页 |
| ·热导率与频率的关系 | 第75-77页 |
| ·热导率与加热器尺寸关系 | 第77-83页 |
| ·无限窄线热源加热半无限大样品 | 第77-79页 |
| ·有限宽线热源加热半无限大样品 | 第79-83页 |
| ·热导率与声子平均自由程的关系 | 第83-84页 |
| ·误差分析 | 第84-89页 |
| ·随机误差 | 第84-86页 |
| ·系统误差 | 第86-87页 |
| ·黑体辐射对结果影响 | 第87-88页 |
| ·热导率的尺寸效应影响 | 第88-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 6 结论与展望 | 第90-92页 |
| ·结论 | 第90-91页 |
| ·展望 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第99-100页 |
