| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-23页 |
| ·微型溅射离子泵 | 第10-12页 |
| ·溅射离子泵基本概念 | 第10-11页 |
| ·溅射离子泵发展状况 | 第11页 |
| ·微型溅射离子泵基本结构 | 第11-12页 |
| ·微型溅射离子泵发展现状 | 第12页 |
| ·非蒸散型吸气剂 | 第12-13页 |
| ·NEG 的概念 | 第12-13页 |
| ·非蒸散型吸气剂的发展现状 | 第13页 |
| ·微型复合溅射离子泵 | 第13-19页 |
| ·复合溅射离子泵概念 | 第13-14页 |
| ·复合溅射离子泵发展现状 | 第14-15页 |
| ·微型复合溅射离子泵结构 | 第15-17页 |
| ·非蒸散型吸气剂掉粉实验 | 第17-18页 |
| ·微型复合溅射离子泵发展现状 | 第18-19页 |
| ·小型真空器件简介 | 第19页 |
| ·论文中所研究的小型真空器件的特点 | 第19页 |
| ·课题背景及意义 | 第19-21页 |
| ·微型复合溅射离子泵的性能要求 | 第19-20页 |
| ·主要问题 | 第20-21页 |
| ·论文主要内容和成果 | 第21-23页 |
| ·主要内容 | 第21页 |
| ·主要成果 | 第21-23页 |
| 第2章 微型复合溅射离子泵抽气特性理论分析 | 第23-39页 |
| ·小型真空器件内部出气和渗气估算 | 第23-29页 |
| ·气体在固体中的渗透和扩散理论 | 第23-26页 |
| ·小型密封器件内部出气和渗气的理论计算 | 第26-28页 |
| ·小型密封器件内部漏气的理论计算 | 第28-29页 |
| ·微型溅射离子泵抽气特性分析 | 第29-33页 |
| ·潘宁放电 | 第29-30页 |
| ·溅射离子泵抽气机理 | 第30页 |
| ·溅射离子泵对不同气体的抽速 | 第30-31页 |
| ·极限压强和超高真空下有效抽速的估算 | 第31-33页 |
| ·NEG 抽气特性分析 | 第33-38页 |
| ·NEG 吸气原理 | 第33-34页 |
| ·NEG 的对不同气体的抽气 | 第34-35页 |
| ·NEG 的激活与再生 | 第35-36页 |
| ·NEG 的对氢气的抽气理论 | 第36-38页 |
| ·NEG 在小型真空器件中的作用 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 NEG 激活工艺研究 | 第39-54页 |
| ·ST172 介绍和其激活条件 | 第39-43页 |
| ·ST172 介绍 | 第39-40页 |
| ·ST172 的激活条件 | 第40-41页 |
| ·ST172 的激活效果测试 | 第41-42页 |
| ·激活ST172 面临的问题和可以采取的解决方式 | 第42-43页 |
| ·三种加热器研究与比较 | 第43-48页 |
| ·PTC 陶瓷片 | 第43-45页 |
| ·玻璃纤维加热带 | 第45-47页 |
| ·石英高温加热灯 | 第47-48页 |
| ·吸气剂激活装置的设计制作以及性能测试 | 第48-52页 |
| ·对器件无降温措施的加热激活实验 | 第48-49页 |
| ·激活时对器件可采取的降温措施 | 第49页 |
| ·吸气剂激活装置的设计与制作 | 第49-50页 |
| ·加热激活装置的激活效果 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 微型复合溅射离子泵的特性测试 | 第54-74页 |
| ·实验系统及操作规范 | 第54-55页 |
| ·实验系统 | 第54-55页 |
| ·操作规范 | 第55页 |
| ·热阴极电离真空计较准 | 第55-57页 |
| ·真空计较准 | 第55-56页 |
| ·电离计抽气与放气速率的估算 | 第56页 |
| ·真空计除气对读数的影响 | 第56-57页 |
| ·ST172 的抽气性能测试 | 第57-58页 |
| ·ST172 的总吸气量测试 | 第57-58页 |
| ·ST172 对器件和微型溅射离子泵存储特性的影响 | 第58页 |
| ·微型溅射离子泵的启动测试 | 第58-61页 |
| ·微型溅射离子泵启动时的压强变化 | 第58-59页 |
| ·微型溅射离子泵启动时的电压和电流变化 | 第59-61页 |
| ·微型复合溅射离子泵的启动测试 | 第61-63页 |
| ·微型复合溅射离子泵在正常真空环境下的启动测试 | 第61页 |
| ·微型复合溅射离子泵在较差真空环境下的启动测试 | 第61-62页 |
| ·微型复合溅射离子泵在极端气载环境下的启动测试 | 第62页 |
| ·启动测试数据总结 | 第62-63页 |
| ·微型复合离子泵启动特性分析 | 第63-67页 |
| ·启动过程中的气压电压波动 | 第63-64页 |
| ·吸气剂提高离子泵的启动成功率 | 第64-65页 |
| ·吸气剂在离子泵启动后吸气性能的恢复 | 第65-67页 |
| ·微型复合溅射离子泵的其他指标测试 | 第67-73页 |
| ·抽速 | 第67-68页 |
| ·极限压强 | 第68-69页 |
| ·离子流-压强关系 | 第69-71页 |
| ·阶梯状离子流-压强关系的物理解释 | 第71-72页 |
| ·微型复合溅射离子泵启动时压强大幅波动的物理解释 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第5章 结论 | 第74-75页 |
| ·论文小结 | 第74页 |
| ·对后续工作的建议 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第79页 |