| 摘要 | 第1-15页 |
| ABSTRACT | 第15-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-61页 |
| §1.1 Ⅲ-Ⅴ族LED概述 | 第20-33页 |
| ·Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的光电特性 | 第20-25页 |
| ·GaN基LED概述 | 第25-29页 |
| ·AlGaInP四元LED概述 | 第29-33页 |
| §1.2 LED芯片中的光提取过程 | 第33-53页 |
| ·LED芯片光提取过程中的基本原理与问题 | 第34-38页 |
| ·衬底优化设计 | 第38-39页 |
| ·界面形貌调制技术-表面粗化 | 第39-46页 |
| ·波矢匹配技术-光子晶体 | 第46-48页 |
| ·反射镜与谐振腔设计 | 第48-53页 |
| §1.3 研究目的与解决的主要问题 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-61页 |
| 第二章 利用Ray-tracing仿真方法优化LED光提取效率 | 第61-77页 |
| §2.1 引言 | 第61-62页 |
| §2.2 GaN基蓝光LED的光提取分析 | 第62-68页 |
| ·同面电极结构GaN基LED光提取分析与优化 | 第65-67页 |
| ·垂直结构GaN蓝光LED光提取分析与优化 | 第67-68页 |
| §2.3 AlGaInP四元红光LED的光提取分析 | 第68-74页 |
| ·常规结构AlGaInP四元LED光提取效率的分析与优化 | 第71-73页 |
| ·换衬底结构AlGaInP四元LED光提取效率的分析与优化 | 第73-74页 |
| §2.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-77页 |
| 第三章 激光剥离技术对于GaN外延层面内应力的调控作用 | 第77-88页 |
| §3.1 引言 | 第77-78页 |
| §3.2 激光剥离前、后本征GaN外延层的应力测量与计算 | 第78-85页 |
| ·X射线衍射分析 | 第79-81页 |
| ·Raman光谱分析 | 第81-83页 |
| ·光致发光光谱分析 | 第83-85页 |
| §3.3 结论与分析 | 第85页 |
| §3.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-88页 |
| 第四章 利用激光直写技术提高LED光提取效率 | 第88-114页 |
| §4.1 引言 | 第88-89页 |
| §4.2 利用激光直写技术提高LED光提取效率的可行性分析 | 第89-93页 |
| ·加工设备的设计与搭建 | 第89-92页 |
| ·激光直写技术引入的LED热损伤评估 | 第92-93页 |
| §4.3 激光直写技术在GaN基蓝光LED中的应用 | 第93-107页 |
| ·激光直写技术应用于GaN基蓝光同面电极结构LED | 第95-105页 |
| ·激光直写技术应用于GaN基蓝光垂直结构LED | 第105-107页 |
| §4.4 激光直写技术在AlGaInP四元LED中的应用 | 第107-111页 |
| ·激光直写技术应用于AlGaInP四元常规结构LED | 第108-110页 |
| ·激光直写技术应用于AlGalnP四元换衬底结构LED | 第110-111页 |
| §4.5 本章小结 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-114页 |
| 第五章 利用激光辅助粗化技术提高AlGaInP四元LED的光提取效率 | 第114-143页 |
| §5.1 引言 | 第114-116页 |
| §5.2 激光辅助腐蚀技术应用于AlGaInP四元LED的可行性分析 | 第116-118页 |
| §5.3 GaAs衬底外延GaP扩展层的激光辅助腐蚀 | 第118-132页 |
| ·激光波长对于GaP腐蚀形貌的调控 | 第123-130页 |
| ·激光偏振态对于GaP腐蚀形貌的调控 | 第130-132页 |
| §5.4 AlGaInP四元常规结构LED的激光辅助表面湿法粗化技术 | 第132-140页 |
| ·工艺流程 | 第132-135页 |
| ·裸芯光电性质表征 | 第135-139页 |
| ·封装后光电参数 | 第139-140页 |
| §5.5 本章小结 | 第140-142页 |
| 参考文献 | 第142-143页 |
| 第六章 局域耦合效应应用于激光辅助腐蚀技术的探索 | 第143-161页 |
| §6.1 引言 | 第143-146页 |
| §6.2 金属/半导体纳米异质结构的制备 | 第146-148页 |
| §6.3 金属/半导体纳米异质结构的光学性质表征 | 第148-150页 |
| §6.4 金属/半导体纳米异质结构应用于激光辅助腐蚀技术 | 第150-158页 |
| ·Au/GaP纳米异质结构的激光辅助腐蚀 | 第150-154页 |
| ·Ag/GaP纳米异质结构的激光辅助腐蚀 | 第154-158页 |
| §6.5 金属/半导体纳米异质结构对于激光辅助腐蚀反应的调控分析 | 第158-159页 |
| §6.6 本章小结 | 第159-160页 |
| 参考文献 | 第160-161页 |
| 第七章 结论与未来展望 | 第161-165页 |
| 主要结论 | 第161-164页 |
| 论文创新点 | 第164页 |
| 需要进一步研究的问题 | 第164-165页 |
| 致谢 | 第165-167页 |
| 攻读博士期间已发表的论文 | 第167-168页 |
| 英文论著 | 第168-176页 |
| 附件 | 第176页 |
