| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状概述 | 第9-13页 |
| ·国外研究现状概述 | 第9-12页 |
| ·国内研究现状概述 | 第12-13页 |
| ·介观压阻效应的国内外研究现状 | 第13-14页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 介观压阻型硅锗加速度计工作原理 | 第16-33页 |
| ·引言 | 第16-17页 |
| ·介观压阻型加速度传感器的结构 | 第17页 |
| ·介观压阻型加速度传感器的工作原理 | 第17-32页 |
| ·敏感原理 | 第17-26页 |
| ·弹性敏感元件工作原理 | 第26-27页 |
| ·测量电路原理 | 第27-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 弹性敏感元件结构仿真与设计 | 第33-44页 |
| ·设计原则 | 第33-34页 |
| ·力学特性 | 第34-36页 |
| ·结构的参数及模型 | 第36-37页 |
| ·加速度计的静态分析 | 第37-40页 |
| ·加速度计的模态分析 | 第40-41页 |
| ·加速度计的谐响应分析 | 第41-42页 |
| ·加速度计结构确定 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 介观压阻元件仿真与设计 | 第44-61页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·量子隧穿理论 | 第44-45页 |
| ·共振隧穿薄膜结构工作原理 | 第45-47页 |
| ·压阻结构和结构参数确定 | 第47-50页 |
| ·Si_(1-x)Ge_x/Si 超晶格结构参数 | 第48-50页 |
| ·Si_(1-x)Ge_x/Si 共振遂穿薄膜电学特性仿真 | 第50-59页 |
| ·电子在超晶格量子阱中的反射与透射 | 第50-52页 |
| ·共振隧穿薄膜电流-电压特性仿真 | 第52-59页 |
| ·介观压阻系数的计算 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 介观压阻型硅锗加速度计性能仿真与分析 | 第61-67页 |
| ·共振隧穿异质结静态性能仿真与分析 | 第61-63页 |
| ·共振隧穿敏感单元微分负阻特性仿真 | 第61页 |
| ·共振隧穿异质结静态加压仿真 | 第61-63页 |
| ·介观压阻型硅锗加速度计的静态态性能仿真 | 第63-65页 |
| ·灵敏度的计算 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第六章 结论和展望 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67页 |
| ·进一步展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |