MEMS微结构力学性能的尺度效应研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 注释表 | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·MEMS产品的特点及其应用 | 第9-11页 |
| ·MEMS产品的特点 | 第9页 |
| ·MEMS产品的应用 | 第9-11页 |
| ·MEMS力学性能的研究现状 | 第11-16页 |
| ·MEMS微结构的尺度效应 | 第11-12页 |
| ·MEMS微结构力学性能的尺度效应的实验背景 | 第12-14页 |
| ·应变梯度理论的发展 | 第14-15页 |
| ·应变梯度理论的应用 | 第15-16页 |
| ·MEMS微系统中的力学问题及研究意义 | 第16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16-18页 |
| 2 基于偶应力理论的MEMS微结构的力学模型 | 第18-31页 |
| ·偶应力理论概述 | 第18页 |
| ·平衡微分方程 | 第18-22页 |
| ·边界条件 | 第22-23页 |
| ·本构关系 | 第23-26页 |
| ·转角与转动梯度 | 第23-25页 |
| ·弹性体的本构关系 | 第25-26页 |
| ·高阶应变梯度理论 | 第26-30页 |
| ·线弹性应变梯度理论 | 第26-27页 |
| ·应变梯度张量的重新分解 | 第27-29页 |
| ·线弹性材料的本构关系 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 典型实例分析 | 第31-44页 |
| ·细铜丝扭转的尺度效应分析 | 第31-34页 |
| ·微薄板弯曲的尺度效应分析 | 第34-37页 |
| ·平板电容式加速度计的尺度效应研究 | 第37-43页 |
| ·平板电容式加速度计的原理及应用 | 第37-38页 |
| ·平板电容式加速度计的力学模型 | 第38-40页 |
| ·结果分析 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 考虑应变梯度效应的孔边应力集中的尺度效应研究 | 第44-64页 |
| ·应变梯度理论的描述及应用 | 第44-48页 |
| ·平衡微分方程描述 | 第44-45页 |
| ·几何变形方程和物理方程 | 第45-46页 |
| ·形变协调方程及应力函数推导 | 第46-48页 |
| ·含应变梯度效应的孔边应力集中的力学模型建立 | 第48-58页 |
| ·单向拉伸带小圆孔平板问题描述 | 第48-49页 |
| ·直角坐标与极坐标之间的转换及应用 | 第49-50页 |
| ·含应变梯度效应的单向拉伸带小圆孔平板问题求解 | 第50-55页 |
| ·单向拉伸结果分析 | 第55-58页 |
| ·双向受载带孔平板问题 | 第58-62页 |
| ·双向受载带孔平板问题描述 | 第58页 |
| ·含应变梯度效应的双向受载带小圆孔平板问题求解 | 第58-59页 |
| ·双向受载结果分析 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 5 总结与展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 附录 张量分析 | 第70-71页 |
