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Al-O、C、N元素添加对铁钴基合金软磁薄膜性能影响的研究

摘要第1-9页
Abstract第9-12页
第一章 绪论第12-25页
   ·磁学发展概述第12-13页
   ·磁性材料宏观现象及能量表述第13-18页
     ·居里温度及自发磁化的交换能量表述第14-15页
     ·磁各向异性的能量表述第15-17页
     ·磁畴及畴壁第17页
     ·磁滞现象第17-18页
   ·静态磁性参数——矫顽力第18-20页
   ·动态磁性特征参数第20-23页
     ·复数磁导率第21-22页
     ·动态磁化过程中的损耗第22-23页
 参考文献第23-25页
第二章 纳米软磁薄膜第25-38页
   ·磁性纳米材料概述第25-28页
     ·纳米材料的基本概念第25页
     ·磁性纳米材料及其特性第25-28页
   ·软磁纳米薄膜的特性及其应用第28-30页
     ·衡量软磁材料性能的指标第28-29页
     ·软磁材料的应用范畴第29页
     ·软磁薄膜的交流应用特点第29-30页
   ·高频软磁性薄膜的应用第30-35页
     ·在磁记录技术中的应用第30-33页
     ·在薄膜电感中的应用第33-34页
     ·在微波吸收器中的应用第34-35页
 参考文献第35-38页
第三章 样品的制备及其性能表征第38-57页
   ·样品的制备第38-42页
     ·磁控射频溅射第38-40页
     ·薄膜沉积装置第40-41页
     ·基片第41-42页
     ·溅射用靶第42页
   ·样品性能的表征第42-54页
     ·厚度的测定第43-44页
     ·成分的测定第44-46页
     ·磁性的测量第46-48页
     ·晶体结构分析第48-51页
     ·表面形貌观测技术第51-52页
     ·畴结构观察第52-53页
     ·透射电子显微镜(TEM)第53页
     ·电阻率的测量第53-54页
     ·动态磁性测量第54页
 参考文献第54-57页
第四章 FeCoAlO薄膜的结构和性能第57-80页
   ·FeCo软磁性薄膜第57-59页
   ·样品的制备第59页
   ·FeCoAlO薄膜的静磁特性第59-66页
     ·FeCoAlO薄膜的成分第59-60页
     ·Al_2O_3添加对薄膜静态磁性的影响第60-62页
     ·Al_2O_3添加对薄膜微结构的影响第62-64页
     ·软磁特性的改善——随机各向异性模型第64-66页
   ·制备条件对薄膜静磁特性和微结构的影响第66-73页
     ·溅射功率第66-69页
     ·溅射气压第69-72页
     ·溅射时间第72-73页
   ·FeCoAlO薄膜的频率特性第73-76页
 小结第76-77页
 参考文献第77-80页
第五章 FeCoAlOC薄膜的结构与性能第80-101页
   ·利用高纯度石墨引入C元素第80-83页
   ·利用有机物引入C元素第83-92页
     ·C元素添加对薄膜微结构和静磁特性的影响第83-87页
     ·C元素添加对FeCoAlOC薄膜高频响应特性的影响第87-92页
   ·对非晶FeCoAlOC薄膜的晶化处理第92-99页
     ·低速升温热处理对薄膜微结构和磁性能的影响第92-95页
     ·快速升温热处理对薄膜微结构和磁性能的影响第95-99页
 小结第99-100页
 参考文献第100-101页
第六章 FeCoAlON薄膜第101-110页
   ·样品的制备第101页
   ·N添加对薄膜磁性的影响第101-106页
   ·条形畴对高频特性的影响第106-107页
 小结第107-108页
 参考文献第108-110页
第七章 结论第110-113页
发表论文情况第113-114页
致谢第114页

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