| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-14页 |
| 1.1 物理背景和研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2 本文主要工作 | 第13-14页 |
| 第二章 MEMS模型的建立及基本结论 | 第14-24页 |
| 2.1 MEMS数学模型的建立 | 第14-17页 |
| 2.2 准备知识和理论 | 第17-24页 |
| 第三章 格式及其理论分析 | 第24-32页 |
| 3.1 半隐式格式 | 第24-28页 |
| 3.2 隐式格式 | 第28-32页 |
| 第四章 数值测试 | 第32-46页 |
| 4.1 uλ的计算实施 | 第32-33页 |
| 4.2 半隐式格式的数值实现 | 第33页 |
| 4.3 隐式格式的数值实现 | 第33-35页 |
| 4.4 不同初始条件的数值测试 | 第35-44页 |
| 4.5 关于触地现象的数值测试 | 第44-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-48页 |
| 附录 Hamilton原理极小化S | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |