| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 阻变存储器概述 | 第10-19页 |
| 1.2.1 阻变存储器的发展 | 第11-12页 |
| 1.2.2 阻变存储器的体系 | 第12-14页 |
| 1.2.3 阻变行为分类及主要参数 | 第14-16页 |
| 1.2.4 阻变存储器工作机理 | 第16-19页 |
| 1.3 柔性电子器件的研究与发展 | 第19-21页 |
| 1.4 基于钛酸钡薄膜的阻变存储器研究进展 | 第21-22页 |
| 1.5 课题的目的和意义 | 第22-23页 |
| 2 阻变存储器件的制备工艺及测试表征方法 | 第23-32页 |
| 2.1 脉冲激光沉积技术 | 第23-24页 |
| 2.2 阻变存储器件主要表征方法 | 第24-28页 |
| 2.2.1 X射线衍射技术 | 第24-25页 |
| 2.2.2 原子力显微技术 | 第25-27页 |
| 2.2.3 透射电子显微技术 | 第27-28页 |
| 2.3 阻变存储器件制备工艺及性能测试方法 | 第28-32页 |
| 2.3.1 阻变存储器件制备工艺 | 第28页 |
| 2.3.2 阻变存储器件光学性能测试方法 | 第28-29页 |
| 2.3.3 阻变存储器件电学性能测试方法 | 第29-32页 |
| 3 平整状态下SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的制备与阻变特性研究 | 第32-54页 |
| 3.1 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.0)5O_3/Au阻变器件的制备 | 第32-44页 |
| 3.1.1 陶瓷靶材的制备与相结构表征 | 第32-34页 |
| 3.1.2 柔性衬底的制备与表面形貌表征 | 第34-37页 |
| 3.1.3 SrRuO_3底电极制备与性能分析 | 第37-40页 |
| 3.1.4 BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3薄膜制备与性能分析 | 第40-44页 |
| 3.2 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的微观结构表征 | 第44-45页 |
| 3.3 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的光学性能分析 | 第45-46页 |
| 3.4 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的阻变特性分析 | 第46-52页 |
| 3.4.1 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的电学性能分析 | 第46-48页 |
| 3.4.2 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的阻变机理分析 | 第48-51页 |
| 3.4.3 BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3薄膜厚度对阻变器件电学性能影响 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 4 不同外界条件下的柔性SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件性能研究 | 第54-64页 |
| 4.1 弯曲状态下SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的表面形貌表征 | 第54-55页 |
| 4.2 弯曲对柔性SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的影响 | 第55-59页 |
| 4.2.1 不同弯曲半径对SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响 | 第55-57页 |
| 4.2.2 不同弯曲次数对SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响 | 第57-58页 |
| 4.2.3 薄膜折叠对SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响 | 第58-59页 |
| 4.3 不同环境温度对柔性SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响 | 第59-61页 |
| 4.4 不同光照强度对柔性SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响 | 第61-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 结论与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 结论 | 第64页 |
| 5.2 展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-78页 |
| 附录 | 第78页 |
