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二硫化钼纳米薄膜的制备及其电学和光电性能调控研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第1章 绪论第15-41页
    1.1 课题背景及研究目的和意义第15-16页
    1.2 二硫化钼(MOS_2)的结构和物性第16-23页
        1.2.1 MoS_2的晶体结构第16-17页
        1.2.2 MoS_2的机械性质第17-19页
        1.2.3 MoS_2的拉曼光谱性质第19-21页
        1.2.4 MoS_2的能带结构第21-23页
        1.2.5 MoS_2的输运性质第23页
    1.3 二维MOS_2的制备及其光电器件研究进展分析第23-39页
        1.3.1 二硫化钼纳米片的制备研究第23-29页
        1.3.2 MoS_2场效应晶体管第29-34页
        1.3.3 MoS_2光电器件第34-35页
        1.3.4 MoS_2异质结器件研究第35-39页
    1.4 本论文的主要研究内容第39-41页
        1.4.1 目前存在的问题第39-40页
        1.4.2 主要内容第40-41页
第2章 试验材料与方法第41-46页
    2.1 试剂材料第41-42页
    2.2 试验仪器第42页
    2.3 材料制备方法第42-44页
        2.3.1 化学气相沉积法制备二硫化钼薄膜及转移步骤第42-43页
        2.3.2 溶胶凝胶法制备p型MoS_2图案化薄膜的方法第43-44页
        2.3.3 柔性MoS_2压电器件的制备第44页
        2.3.4 一步法外延生长MoS_2/CdS垂直异质结方法第44页
    2.4 材料的表征方法第44-46页
第3章 单层MoS_2的形貌调控及其晶界结构对电学性质的影响研究第46-72页
    3.1 引言第46页
    3.2 多角MOS_2的形貌调控和电学性质第46-57页
        3.2.1 MoS_2形貌结构的调控第46-47页
        3.2.2 MoS_2的显微结构与成份分析第47-53页
        3.2.3 MoS_2的形貌演变规律第53-55页
        3.2.4 晶界对场效应晶体管输运性质调控的研究第55-57页
    3.3 MOS_2形貌对压电性质调控的研究第57-71页
        3.3.1 MoS_2压电器件的测试原理第59-63页
        3.3.2 MoS_2压电器件的电学性能测试第63-66页
        3.3.3 MoS_2晶界增加压电信号的原理分析第66-69页
        3.3.4 MoS_2压电器件的力学传感应用研究第69-71页
    3.4 本章小结第71-72页
第4章 MoS_2表面外延生长非层状硫化镉功能化垂直异质结第72-88页
    4.1 引言第72-73页
    4.2 CdS/MoS_2垂直异质结的制备过程第73-74页
    4.3 CdS/MoS_2垂直异质结的结构表征第74-79页
    4.4 CdS/MoS_2生长动力学分析第79-81页
    4.5 CdS/MoS_2光谱性质研究及能带结构分析第81-83页
    4.6 CdS/MoS_2以及MoS_2光探测器性能对比第83-87页
    4.7 本章小结第87-88页
第5章 高形变的MoS_2剪纸结构的制备及其力学传感性能研究第88-103页
    5.1 引言第88页
    5.2 大面积MOS_2薄膜的制备第88-90页
    5.3 MOS_2/PDMS复合剪纸结构的制备第90-91页
    5.4 MOS_2剪纸结构传感器结构表征第91-93页
    5.5 剪纸结构器件的力学和电学关系研究第93-100页
    5.6 高形变量器件对大形变动作的传感性能研究第100-102页
    5.7 本章小结第102-103页
第6章 图案化生长P型MOS_2薄膜及其电学性能研究第103-123页
    6.1 引言第103-104页
    6.2 WO_X修饰MOS_2的制备方法第104-108页
        6.2.1 过氧钼酸溶胶凝胶的合成第104页
        6.2.2 图案化MoS_2薄膜的制备第104-108页
    6.3 P型MOS_2薄膜的结构表征及电学性质研究第108-116页
    6.4 第一性原理计算P型MOS_2形成的原因及其实验验证第116-120页
    6.5 MOS_2P-N结的制备及性能研究第120-121页
    6.6 本章小结第121-123页
结论第123-125页
参考文献第125-137页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果第137-139页
致谢第139-140页
个人简历第140页

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