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氢气和电场对栅控双极晶体管3 MeV质子辐照损伤影响机制

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-19页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第9-11页
    1.2 电离辐射缺陷第11-12页
        1.2.1 界面态陷阱第11-12页
        1.2.2 氧化物电荷第12页
    1.3 位移辐射损伤第12-13页
    1.4 氢对辐照缺陷损伤的影响第13-15页
    1.5 电场对辐射损伤的影响第15-17页
    1.6 本文的主要研究内容第17-19页
第2章 试验器件及分析测试方法第19-29页
    2.1 试验样品第19-20页
    2.2 辐照源第20页
    2.3 氢气浸泡试验第20-21页
    2.4 不同偏置条件下辐照试验第21-22页
        2.4.1 不同发射结偏置辐照第21页
        2.4.2 不同栅极偏置辐照第21-22页
    2.5 电性能及缺陷分析方法第22-29页
        2.5.1 Gummel曲线及电流增益测试方法第23页
        2.5.2 过剩基极电流第23-24页
        2.5.3 栅扫描(GS)技术第24-27页
        2.5.4 深能级瞬态谱分析(DLTS)方法第27-29页
第3章 氢气对GLPNP晶体管辐照效应的影响第29-38页
    3.1 Gummel特性曲线变化规律第29-31页
    3.2 电流增益退化规律第31-32页
    3.3 ΔI_B变化规律第32-34页
    3.4 GS曲线变化规律第34-36页
    3.5 本章小结第36-38页
第4章 电场对GLPNP晶体管辐照效应的影响第38-53页
    4.1 栅压对GLPNP晶体管性能的影响第38-44页
        4.1.1 Gummel特性曲线变化规律第38-40页
        4.1.2 电流增益退化规律第40-41页
        4.1.3 ΔI_B变化规律第41-43页
        4.1.4 GS曲线变化规律第43-44页
    4.2 发射结偏压对GLPNP晶体管性能的影响第44-51页
        4.2.1 Gummel特性曲线变化规律第44-47页
        4.2.2 电流增益退化规律第47-48页
        4.2.3 ΔI_B变化规律第48-49页
        4.2.4 GS曲线变化规律第49-51页
    4.3 本章小结第51-53页
第5章 氢气和电场对质子辐照损伤影响机制第53-63页
    5.1 氢气对GLPNP质子辐照损伤机理研究第53-56页
        5.1.1 辐照感生缺陷的分离计算第53-54页
        5.1.2 深能级瞬态谱(DLTS)分析第54-55页
        5.1.3 氢对GLPNP晶体管辐照效应影响机理分析第55-56页
    5.2 电场对GLPNP质子辐照损伤机理研究第56-62页
        5.2.1 不同栅偏压对GLPNP质子辐照损伤机理研究第56-59页
            5.2.1.1 辐照感生缺陷的分离计算第56-58页
            5.2.1.2 深能级瞬态谱(DLTS)分析第58页
            5.2.1.3 栅压对GLPNP晶体管辐照效应影响机理分析第58-59页
        5.2.2 不同结偏压对GLPNP质子辐照损伤机理研究第59-62页
            5.2.2.1 辐照感生缺陷的分离计算第59-60页
            5.2.2.2 深能级瞬态谱(DLTS)分析第60-61页
            5.2.2.3 结偏压对GLPNP晶体管辐照效应影响机理分析第61-62页
    5.3 本章小结第62-63页
结论第63-64页
参考文献第64-70页
致谢第70页

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