液压系统用含氢类金刚石薄膜的制备及性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 表面工程技术在液压系统的应用 | 第10-12页 |
| 1.1.1 液压系统的简介 | 第10页 |
| 1.1.2 液压系统中常见的表面失效问题 | 第10-12页 |
| 1.2 类金刚石薄膜的结构、性能及应用 | 第12-14页 |
| 1.2.1 类金刚石薄膜的结构与性能 | 第12页 |
| 1.2.2 类金刚石薄膜的应用 | 第12-14页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的制备方法 | 第14-15页 |
| 1.4 类金刚石薄膜的摩擦学机理 | 第15-16页 |
| 1.5 论文研究内容及意义 | 第16-18页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第16页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 实验方法 | 第18-25页 |
| 2.1 实验设备 | 第18-19页 |
| 2.2 实验设计 | 第19-20页 |
| 2.3 薄膜制备 | 第20页 |
| 2.3.1 试样准备与处理 | 第20页 |
| 2.3.2 薄膜沉积 | 第20页 |
| 2.4 薄膜结构及性能表征 | 第20-25页 |
| 2.4.1 薄膜结构及形貌分析 | 第20-22页 |
| 2.4.2 薄膜性能测试 | 第22-25页 |
| 第三章 过渡层对类金刚石薄膜性能的影响 | 第25-34页 |
| 3.1 薄膜表面形貌及粗糙度 | 第25-26页 |
| 3.2 薄膜截面形貌 | 第26-27页 |
| 3.3 薄膜拉曼光谱 | 第27-28页 |
| 3.4 薄膜硬度与弹性模量 | 第28-29页 |
| 3.5 薄膜结合力 | 第29-30页 |
| 3.6 薄膜摩擦学性能 | 第30-32页 |
| 3.7 本章小结 | 第32-34页 |
| 第四章 负偏压对类金刚石薄膜性能的影响 | 第34-44页 |
| 4.1 薄膜表面形貌及粗糙度 | 第34-36页 |
| 4.2 薄膜截面形貌 | 第36-37页 |
| 4.3 薄膜拉曼光谱 | 第37-39页 |
| 4.4 薄膜硬度与弹性模量 | 第39页 |
| 4.5 薄膜结合力 | 第39-40页 |
| 4.6 薄膜摩擦学性能 | 第40-42页 |
| 4.7 本章小结 | 第42-44页 |
| 第五章 离子源功率对类金刚石薄膜性能的影响 | 第44-54页 |
| 5.1 薄膜表面形貌及粗糙度 | 第44-45页 |
| 5.2 薄膜截面形貌 | 第45-46页 |
| 5.3 薄膜拉曼光谱 | 第46-48页 |
| 5.4 薄膜硬度与弹性模量 | 第48-49页 |
| 5.5 薄膜结合力 | 第49-50页 |
| 5.6 薄膜摩擦学性能 | 第50-52页 |
| 5.7 应用研究 | 第52-53页 |
| 5.8 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
