| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 透明导电薄膜的分类 | 第9-13页 |
| 1.2.1 TCO薄膜 | 第10-12页 |
| 1.2.2 金属夹层三明治结构透明导电薄膜 | 第12页 |
| 1.2.3 其他新型的透明导电薄膜 | 第12-13页 |
| 1.3 透明导电薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| 1.4 透明导电薄膜的应用 | 第15页 |
| 1.5 TCO/metal/TCO透明导电薄膜的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.6 选题依据及研究意义 | 第17-18页 |
| 1.7 论文的研究内容 | 第18-19页 |
| 2 实验与表征 | 第19-31页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 磁控溅射镀膜原理及样品制备 | 第19-23页 |
| 2.2.1 磁控溅射 | 第20-22页 |
| 2.2.2 磁控溅射设备介绍 | 第22-23页 |
| 2.3 实验流程 | 第23-24页 |
| 2.4 样品的分析与表征手段 | 第24-31页 |
| 2.4.1 台阶仪 | 第25-26页 |
| 2.4.2 紫外-可见-近红外分光光度计 | 第26-27页 |
| 2.4.3 四探针 | 第27页 |
| 2.4.4 I-V曲线测试 | 第27-28页 |
| 2.4.5 X-射线衍射 | 第28-29页 |
| 2.4.6 原子力显微镜 | 第29-31页 |
| 3 透明导电AZO/Ag/AZO复合薄膜的制备与表征 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 溅射功率对AZO薄膜性能的影响 | 第31-34页 |
| 3.3 Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜性能的影响 | 第34-40页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第35-36页 |
| 3.3.2 电学性能分析 | 第36-38页 |
| 3.3.3 光学性能分析 | 第38页 |
| 3.3.4 品质因子 | 第38-40页 |
| 3.4 Mica/AZO/Ag/AZO透明导电薄膜抗弯测试 | 第40-41页 |
| 3.5 热处理温度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜性能的影响 | 第41-46页 |
| 3.5.1 XRD分析 | 第41-43页 |
| 3.5.2 AFM分析 | 第43-44页 |
| 3.5.3 电学性能分析 | 第44-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 Mica/AZO/Ag/AZO薄膜在场效应晶体管中的应用 | 第47-54页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 场效应晶体管的基本结构 | 第47-48页 |
| 4.3 p-Si上场效应晶体管的试制备 | 第48-52页 |
| 4.3.1 ZnO薄膜的制备与研究 | 第48-49页 |
| 4.3.2 Al_2O_3薄膜的制备与研究 | 第49-50页 |
| 4.3.3 场效应晶体管的构筑及性能研究 | 第50-52页 |
| 4.4 全透明柔性场效应晶体管 | 第52-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论与展望 | 第54-56页 |
| 结论 | 第54页 |
| 展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及研究成果 | 第65页 |
