| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜 | 第12-17页 |
| ·Ti-Ni 薄膜的制备 | 第12-14页 |
| ·Ti-Ni 薄膜的力学性能 | 第14-15页 |
| ·Ti-Ni 薄膜的相变行为 | 第15-16页 |
| ·Ti-Ni 薄膜的摩擦学性质 | 第16-17页 |
| ·闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术 | 第17-20页 |
| ·基本原理 | 第17-18页 |
| ·技术特点 | 第18-19页 |
| ·技术的现状及发展方向 | 第19-20页 |
| ·研究课题的提出 | 第20-23页 |
| ·课题提出的背景 | 第20-21页 |
| ·课题主要研究内容及目标 | 第21-23页 |
| 第二章 Ti-Ni 合金薄膜的制备及检测方法 | 第23-31页 |
| ·实验材料与设备 | 第23-26页 |
| ·靶材选择 | 第23页 |
| ·基材准备 | 第23-24页 |
| ·实验设备 | 第24-26页 |
| ·制备工艺 | 第26-27页 |
| ·薄膜溅射 | 第26页 |
| ·晶化处理 | 第26-27页 |
| ·检测方法 | 第27-31页 |
| ·成分检测 | 第27页 |
| ·形貌观测 | 第27页 |
| ·微结构分析 | 第27页 |
| ·性能表征 | 第27-31页 |
| 第三章 成分对Ti-Ni 合金薄膜相变温度的影响 | 第31-41页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·实验方法 | 第31-32页 |
| ·实验结果与讨论 | 第32-40页 |
| ·不同成分Ti-Ni 合金薄膜XRD 结果 | 第32-37页 |
| ·不同成分Ti-Ni 合金薄膜相变温度的DSC 结果 | 第37-38页 |
| ·不同成分对Ti-Ni 合金薄膜相变温度的影响 | 第38-40页 |
| ·结论 | 第40-41页 |
| 第四章 Ti-Ni 合金薄膜的表面形貌和结合强度的研究 | 第41-55页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·实验方法 | 第41-42页 |
| ·实验结果与讨论 | 第42-53页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜表面粗糙度的测定方法 | 第42-44页 |
| ·不同成分Ti-Ni 合金薄膜的表面形貌 | 第44-45页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜表面形貌的演变机理 | 第45-49页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜的结合强度 | 第49-53页 |
| ·结论 | 第53-55页 |
| 第五章 Ti-Ni 合金薄膜的纳米压入行为 | 第55-67页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·实验方法 | 第55-56页 |
| ·实验结果与讨论 | 第56-65页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜纳米压入行为的分析 | 第56-60页 |
| ·不同成分Ti-Ni 合金薄膜的纳米力学性能 | 第60-63页 |
| ·不同成分Ti-Ni 合金薄膜的纳米伪弹性 | 第63-64页 |
| ·多次加载下不同成分Ti-Ni 合金薄膜的纳米力学性能 | 第64-65页 |
| ·结论 | 第65-67页 |
| 第六章 Ti-Ni 合金薄膜摩擦学行为初探 | 第67-73页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·实验方法 | 第67-68页 |
| ·实验结果与讨论 | 第68-72页 |
| ·摩擦系数和磨损率的测量方法 | 第68-69页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜与其基体 TC4 钛合金的滑动摩擦系数 | 第69-70页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜与其基体 TC4 钛合金的磨损率 | 第70页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜的摩擦磨损机理研究 | 第70-71页 |
| ·Ti-Ni 合金薄膜耐磨性提高的可能方法设想 | 第71-72页 |
| ·结论 | 第72-73页 |
| 第七章 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第85页 |
