| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 传感器技术 | 第13页 |
| 1.2 化学传感器 | 第13-14页 |
| 1.3 光化学传感器 | 第14页 |
| 1.4 光波导化学传感器 | 第14-20页 |
| 1.4.1 光波导化学传感器的发展 | 第14-15页 |
| 1.4.2 光波导化学传感器的分类及应用 | 第15-16页 |
| 1.4.3 平面玻璃光波导传感器 | 第16-17页 |
| 1.4.4 光波导化学传感器的敏感材料 | 第17-20页 |
| 1.4.4.1 ZnFe_2O_4简介 | 第17-18页 |
| 1.4.4.2 氧化镍（NiO）材料 | 第18-19页 |
| 1.4.4.3 二氧化锡（SnO_2）材料 | 第19页 |
| 1.4.4.4 氧化铝（Al_2O_3）材料 | 第19-20页 |
| 1.5 有害气体 | 第20-21页 |
| 1.5.1 挥发性有机气体 | 第20-21页 |
| 1.5.2 挥发性有机气体的检测方法 | 第21页 |
| 1.5.3 无机污染气体 | 第21页 |
| 1.6 课题来源及论文工作 | 第21-23页 |
| 第二章 NiO - ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件气敏性研究 | 第23-46页 |
| 2.1 引言 | 第23-24页 |
| 2.2 实验部分 | 第24-27页 |
| 2.2.1 仪器和试剂 | 第24-25页 |
| 2.2.2 光波导传感元件的制备 | 第25-26页 |
| 2.2.3 标准气体的配制 | 第26-27页 |
| 2.2.4 检测系统 | 第27页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第27-36页 |
| 2.3.1 NiO 掺杂 ZnFe_2O_4粉末的合成与表征 | 第27-29页 |
| 2.3.2 复合薄膜的透光率变化 | 第29页 |
| 2.3.3 传感元件的检测原理 | 第29-30页 |
| 2.3.4 复合薄膜制备条件的选择 | 第30-34页 |
| 2.3.4.1 提拉速度的选择 | 第30页 |
| 2.3.4.2 热处理条件的选择 | 第30-32页 |
| 2.3.4.3 复合薄膜掺杂量的选择 | 第32-34页 |
| 2.3.5 NiO-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对各类挥发性有机物的选择性响应 | 第34-35页 |
| 2.3.6 NiO-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对二甲苯气体的响应 | 第35-36页 |
| 2.4 小结 | 第36-37页 |
| 2.5 检测无机气体的研究 | 第37-46页 |
| 2.5.1 引言 | 第37-38页 |
| 2.5.2 实验部分 | 第38-39页 |
| 2.5.2.1 仪器和试剂 | 第38页 |
| 2.5.2.2 光波导传感元件的制备 | 第38页 |
| 2.5.2.3 标准气体的制备 | 第38-39页 |
| 2.5.3 结果与讨论 | 第39-45页 |
| 2.5.3.1 NiO - ZnFe_2O_4粉末的电子能谱图分析 | 第39页 |
| 2.5.3.2 复合薄膜的透光率变化 | 第39-40页 |
| 2.5.3.3 传感元件的检测原理 | 第40-41页 |
| 2.5.3.4 复合薄膜掺杂量的选择 | 第41-43页 |
| 2.5.3.5 NiO-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对各类挥发性无机气体的选择性响应 | 第43页 |
| 2.5.3.6 NiO-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对硫化氢气体的响应 | 第43-45页 |
| 2.5.4 小结 | 第45-46页 |
| 第三章 SnO_2– ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件气敏性研究 | 第46-64页 |
| 3.1 引言 | 第46-47页 |
| 3.2 实验部分 | 第47页 |
| 3.2.1 仪器和试剂 | 第47页 |
| 3.2.2 光波导传感元件的制备 | 第47页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第47-55页 |
| 3.3.1 SnO_2掺杂的 ZnFe_2O_4粉末的表征 | 第47-49页 |
| 3.3.2 复合薄膜的透光率变化 | 第49页 |
| 3.3.3 复合薄膜制备条件的选择 | 第49-53页 |
| 3.3.3.1 提拉速度的选择 | 第49-50页 |
| 3.3.3.2 热处理条件的选择 | 第50-51页 |
| 3.3.3.3 复合薄膜掺杂量的选择 | 第51-53页 |
| 3.3.4 SnO_2-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对各类挥发性有机物的选择性响应 | 第53页 |
| 3.3.5 SnO_2-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对二甲苯气体的响应 | 第53-55页 |
| 3.4 小结 | 第55-56页 |
| 3.5 检测无机气体的研究 | 第56-64页 |
| 3.5.1 引言 | 第56-57页 |
| 3.5.2 实验部分 | 第57-58页 |
| 3.5.2.1 仪器和试剂 | 第57页 |
| 3.5.2.2 光波导传感元件的制备 | 第57页 |
| 3.5.2.3 标准气体的制备 | 第57-58页 |
| 3.5.3 结果与讨论 | 第58-63页 |
| 3.5.3.1 SnO_2掺杂的 ZnFe_2O_4粉末的电子能谱表征 | 第58页 |
| 3.5.3.2 复合薄膜的透光率 | 第58-59页 |
| 3.5.3.3 复合薄膜掺杂量的选择 | 第59-61页 |
| 3.5.3.4 SnO_2-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对各类无机气体的选择性响应 | 第61页 |
| 3.5.3.5 SnO_2-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对硫化氢气体的响应 | 第61-63页 |
| 3.5.4 小结 | 第63-64页 |
| 第四章 Al_2O_3– ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件气敏性研究 | 第64-83页 |
| 4.1 引言 | 第64-66页 |
| 4.2 实验部分 | 第66页 |
| 4.2.1 仪器和试剂 | 第66页 |
| 4.2.2 光波导传感元件的制备 | 第66页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第66-74页 |
| 4.3.1 Al_2O_3掺杂的 ZnFe_2O_4粉末的表征 | 第66-68页 |
| 4.3.2 复合薄膜的透光率变化 | 第68页 |
| 4.3.3 复合薄膜制备条件的选择 | 第68-71页 |
| 4.3.3.1 提拉速度的选择 | 第68-69页 |
| 4.3.3.2 热处理条件的选择 | 第69-70页 |
| 4.3.3.3 掺杂量的选择 | 第70-71页 |
| 4.3.4 Al_2O_3-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对各类挥发性有机物的选择性响应 | 第71-72页 |
| 4.3.5 Al_2O_3-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对二甲苯气体的响应 | 第72-74页 |
| 4.4 小结 | 第74-75页 |
| 4.5 检测无机气体的研究 | 第75-83页 |
| 4.5.1 引言 | 第75-76页 |
| 4.5.2 实验部分 | 第76页 |
| 4.5.2.1 仪器和试剂 | 第76页 |
| 4.5.2.2 光波导传感元件与标准气体的制备 | 第76页 |
| 4.5.3 结果与讨论 | 第76-82页 |
| 4.5.3.1 Al_2O_3-ZnFe_2O_4粉末的电子能谱图分析 | 第76-77页 |
| 4.5.3.2 透光率变化 | 第77-78页 |
| 4.5.3.3 复合薄膜掺杂量的选择 | 第78-79页 |
| 4.5.3.4 Al_2O_3-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对各类挥发性无机气体的选择性响应 | 第79-80页 |
| 4.5.3.5 Al_2O_3-ZnFe_2O_4复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件对硫化氢气体的响应 | 第80-82页 |
| 4.5.4 小结 | 第82-83页 |
| 第五章 结论 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-96页 |
| 硕士研究生期间论文发表情况 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97页 |
