| 中文摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题的背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 刀具涂层的发展 | 第10-12页 |
| 1.2.1 硬质涂层的制备方法 | 第10页 |
| 1.2.2 硬质涂层的分类和性能特点 | 第10-12页 |
| 1.3 金属硼氮化物涂层的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 实验设备、材料及方法 | 第14-20页 |
| 2.1 实验设备与材料 | 第14-15页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第14页 |
| 2.1.2 实验材料 | 第14-15页 |
| 2.2 涂层制备 | 第15页 |
| 2.3 涂层显微结构分析 | 第15-16页 |
| 2.4 涂层力学性能测试 | 第16-18页 |
| 2.4.1 硬度和弹性模量 | 第16页 |
| 2.4.2 膜基结合强度 | 第16-17页 |
| 2.4.3 残余应力 | 第17-18页 |
| 2.5 摩擦学性能测试 | 第18-19页 |
| 2.6 抗氧化性能测试 | 第19-20页 |
| 第3章 脉冲直流磁控溅射ZrB_2和Zr-B-N涂层研究 | 第20-27页 |
| 3.1 引言 | 第20-21页 |
| 3.2 沉积速率 | 第21页 |
| 3.3 显微结构 | 第21-23页 |
| 3.4 力学性能 | 第23-25页 |
| 3.5 摩擦学行为 | 第25-26页 |
| 3.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第4章 复合磁控溅射Zr-B-N涂层研究 | 第27-40页 |
| 4.1 引言 | 第27-28页 |
| 4.2 实验 | 第28-30页 |
| 4.2.1 涂层制备 | 第28页 |
| 4.2.2 涂层表征 | 第28-30页 |
| 4.3 沉积速率 | 第30页 |
| 4.4 显微结构 | 第30-35页 |
| 4.5 力学性能 | 第35-37页 |
| 4.6 摩擦学行为 | 第37-38页 |
| 4.7 本章小结 | 第38-40页 |
| 第5章 Zr-B-N纳米复合涂层热稳定性研究 | 第40-46页 |
| 5.1 引言 | 第40页 |
| 5.2 实验 | 第40-41页 |
| 5.3 成分 | 第41页 |
| 5.4 显微结构 | 第41-43页 |
| 5.5 物相 | 第43-45页 |
| 5.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第6章 不同磁控溅射技术对Zr-B-N涂层结构和性能的影响 | 第46-58页 |
| 6.1 引言 | 第46页 |
| 6.2 实验 | 第46-48页 |
| 6.2.1 涂层制备 | 第46-47页 |
| 6.2.2 涂层表征 | 第47-48页 |
| 6.3 沉积速率 | 第48页 |
| 6.4 显微结构 | 第48-51页 |
| 6.5 力学性能 | 第51-52页 |
| 6.6 摩擦学行为 | 第52-53页 |
| 6.7 抗氧化特性 | 第53-57页 |
| 6.8 本章小结 | 第57-58页 |
| 第7章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 7.1 本文总结 | 第58-59页 |
| 7.2 研究展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第69页 |