一种新的连续通过式太阳能电池片扩散装备开发
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 前言 | 第12-26页 |
| 1.1 太阳能的应用 | 第12-15页 |
| 1.2 太阳能电池 | 第15-17页 |
| 1.2.1 光电转换 | 第15-17页 |
| 1.2.2 太阳能电池生产工艺 | 第17页 |
| 1.3 扩散装备国内外发展现状 | 第17-22页 |
| 1.3.1 国外扩散装备发展 | 第18-20页 |
| 1.3.2 我国扩散装备发展 | 第20-22页 |
| 1.4 论文研究内容和意义 | 第22-26页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第22-23页 |
| 1.4.2 研究意义 | 第23-26页 |
| 第二章 通过式扩散理论研究 | 第26-41页 |
| 2.1 扩散研究 | 第26-31页 |
| 2.1.1 PN 结的形成 | 第26-27页 |
| 2.1.2 扩散原理 | 第27-31页 |
| 2.1.2.1 扩散定律 | 第29-30页 |
| 2.1.2.2 反应扩散 | 第30-31页 |
| 2.2 影响扩散的因素 | 第31-34页 |
| 2.2.1 扩散温度 | 第31-33页 |
| 2.2.2 扩散炉内气流场 | 第33-34页 |
| 2.2.3 扩散时间 | 第34页 |
| 2.3 通过式扩散方法的提出 | 第34-39页 |
| 2.3.1 通过式扩散方法 | 第35-36页 |
| 2.3.2 方块电阻计算 | 第36-39页 |
| 2.3.2.1 数学建模 | 第36-38页 |
| 2.3.2.2 计算结果及分析 | 第38-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 连续通过式扩散装备研制 | 第41-62页 |
| 3.0 通过式扩散炉总体设计 | 第41-44页 |
| 3.0.1 通过式扩散工作原理 | 第41-44页 |
| 3.0.2 通过式扩散炉总体结构 | 第44页 |
| 3.1 行舟系统 | 第44-51页 |
| 3.1.1 桨叶设计 | 第45-48页 |
| 3.1.2 进给系统 | 第48-51页 |
| 3.2 炉门系统 | 第51-55页 |
| 3.2.1 炉门框结构设计 | 第51页 |
| 3.2.2 软性炉门设计 | 第51-55页 |
| 3.3 气路系统 | 第55-57页 |
| 3.3.1 进气气路 | 第55-56页 |
| 3.3.2 通气管设计 | 第56-57页 |
| 3.4 温控系统 | 第57-58页 |
| 3.5 上位机界面设计 | 第58-61页 |
| 3.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 实验验证 | 第62-76页 |
| 4.1 扩散炉性能测试实验 | 第62-71页 |
| 4.1.1 行舟系统的实验验证 | 第62-65页 |
| 4.1.2 气路系统的实验验证 | 第65-68页 |
| 4.1.3 温控系统的实验验证 | 第68-69页 |
| 4.1.4 炉门系统的实验验证 | 第69-71页 |
| 4.2 样机试扩散的产品测试验证 | 第71-75页 |
| 4.3 本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 结论与展望 | 第76-78页 |
| 5.1 结论 | 第76-77页 |
| 5.2 展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士期间科研成果 | 第82-83页 |
| 作者在攻读硕士学位期间所作的项目 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
