| 中文摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 前言 | 第9-10页 |
| 第二章 文献综述 | 第10-28页 |
| 2.1 Si0_2物化性质及应用 | 第10页 |
| 2.2 Si0_2薄膜的制备方法 | 第10-12页 |
| 2.2.1 物理气相沉积 | 第10-11页 |
| 2.2.2 化学气相沉积 | 第11页 |
| 2.2.3 热氧化法 | 第11页 |
| 2.2.4 溶胶凝胶法 | 第11-12页 |
| 2.2.5 液相沉积法 | 第12页 |
| 2.3 Si0_2薄膜的研究进展 | 第12-14页 |
| 2.4 液相沉积法制备纳米Si0_2薄膜 | 第14-16页 |
| 2.4.1 液相沉积法制备Si0_2薄膜原理 | 第14-15页 |
| 2.4.2 Si0_2薄膜的生长模型 | 第15-16页 |
| 2.5 地热水结垢与腐蚀趋势判断 | 第16-17页 |
| 2.6 地热水换热器防垢研究 | 第17-20页 |
| 2.6.1 换热壁面的结垢类型及结垢过程 | 第17-18页 |
| 2.6.2 换热壁面污垢的测量 | 第18页 |
| 2.6.3 地热水换热器的结垢机理 | 第18页 |
| 2.6.4 地热水换热器防垢研究进展 | 第18-20页 |
| 2.7 地热水换热器防腐研究 | 第20-26页 |
| 2.7.1 金属腐蚀的分类 | 第20-21页 |
| 2.7.2 金属腐蚀的评定方法 | 第21-22页 |
| 2.7.3 铜及铜合金的腐蚀行为 | 第22-24页 |
| 2.7.4 地热水换热器的腐蚀机理 | 第24-25页 |
| 2.7.5 地热水换热器防腐研究进展 | 第25-26页 |
| 2.8 论文的工作 | 第26-28页 |
| 第三章 液相沉积法制备Si0_2薄膜 | 第28-33页 |
| 3.1 实验原料及设备 | 第28-29页 |
| 3.1.1 实验原料 | 第28页 |
| 3.1.2 实验设备 | 第28-29页 |
| 3.2 实验工艺 | 第29-31页 |
| 3.2.1 样片打磨、抛光 | 第29-30页 |
| 3.2.2 表面清洗 | 第30页 |
| 3.2.3 Si0_2薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 3.3 表征方法 | 第31-33页 |
| 3.3.1 表面粗糙度 | 第31页 |
| 3.3.2 表面形貌 | 第31-32页 |
| 3.3.3 红外光谱（IR） | 第32页 |
| 3.3.4 X 射线光电子能谱（XPS） | 第32页 |
| 3.3.5 薄膜厚度 | 第32页 |
| 3.3.6 接触角 | 第32-33页 |
| 第四章 Si0_2薄膜的表征 | 第33-51页 |
| 4.1 沉积条件对Si0_2薄膜性能的影响 | 第33-43页 |
| 4.1.1 基底表面状况的影响 | 第33-34页 |
| 4.1.2 氟硅酸(H_2SiF_6)浓度对薄膜质量的影响 | 第34-36页 |
| 4.1.3 硼酸(H_3B0_3)浓度的影响 | 第36-38页 |
| 4.1.4 沉积温度对薄膜质量的影响 | 第38-41页 |
| 4.1.5 沉积时间对薄膜质量的影响 | 第41-43页 |
| 4.2 薄膜制备条件的优化及其表征 | 第43-51页 |
| 4.2.1 薄膜粗糙度的测量 | 第43-44页 |
| 4.2.2 薄膜形貌及元素分析 | 第44-46页 |
| 4.2.3 薄膜的红外光谱分析(IR) | 第46-47页 |
| 4.2.4 薄膜的X 射线光谱分析(XPS) | 第47页 |
| 4.2.5 薄膜自由能的计算 | 第47-51页 |
| 第五章 Si0_2薄膜的防腐防垢实验研究 | 第51-68页 |
| 5.1 防垢实验 | 第51-59页 |
| 5.1.1 实验工质与装置 | 第51-52页 |
| 5.1.1.1 实验工质 | 第51-52页 |
| 5.1.1.2 实验装置 | 第52页 |
| 5.1.2 实验方法与过程 | 第52-53页 |
| 5.1.2.1 结垢形貌观察及成分分析 | 第52页 |
| 5.1.2.2 结垢速率 | 第52-53页 |
| 5.1.3 实验结果与讨论 | 第53-59页 |
| 5.1.3.1 污垢形貌观察及成分分析 | 第53-54页 |
| 5.1.3.2 污垢的表观检查 | 第54-57页 |
| 5.1.3.3 温度对结垢速率的影响 | 第57-58页 |
| 5.1.3.4 时间对结垢速率的影响 | 第58-59页 |
| 5.1.4 小结 | 第59页 |
| 5.2 防腐蚀实验 | 第59-68页 |
| 5.2.1 实验材料与装置 | 第59-60页 |
| 5.2.1.1 实验材料 | 第59-60页 |
| 5.2.1.2 实验装置 | 第60页 |
| 5.2.2 实验方法与过程 | 第60-61页 |
| 5.2.2.1 腐蚀产物形貌观察及成分分析 | 第60页 |
| 5.2.2.2 腐蚀速率 | 第60-61页 |
| 5.2.2.3 腐蚀实验周期 | 第61页 |
| 5.2.3 实验结果与讨论 | 第61-67页 |
| 5.2.3.1 腐蚀产物形貌观察及成分分析 | 第61-63页 |
| 5.2.3.2 腐蚀产物的表观检查 | 第63-65页 |
| 5.2.3.3 温度对腐蚀速率的影响 | 第65-66页 |
| 5.2.3.4 时间对腐蚀速率的影响 | 第66-67页 |
| 5.2.4 小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与建议 | 第68-70页 |
| 6.1 结论 | 第68页 |
| 6.2 建议 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第75-76页 |
| 附录一 t=168h 时各样片在不同温度下的结垢速率 | 第76-77页 |
| 附录二 T=60℃时各样片在不同时间下的结垢速率 | 第77-78页 |
| 附录三 t=24h 时各样片在不同温度下的腐蚀速率 | 第78-79页 |
| 附录四 T=60℃时各样片在不同时间下的腐蚀速率 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
