超声雾化热解法制备掺杂型SnO2薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 SnO_2材料的基本性质 | 第12-17页 |
| 1.2.1 SnO_2的晶体结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 SnO_2的光学性质 | 第13-14页 |
| 1.2.3 SnO_2的电学性质 | 第14-17页 |
| 1.3 SnO_2薄膜的制备方法和应用 | 第17-23页 |
| 1.3.1 SnO_2薄膜的制备方法 | 第17-20页 |
| 1.3.2 超声雾化热解法概述及其成膜机理 | 第20-22页 |
| 1.3.3 SnO_2薄膜的应用 | 第22-23页 |
| 1.4 SnO_2薄膜的研究现状 | 第23-24页 |
| 1.5 课题的提出与主要研究内容 | 第24-28页 |
| 第2章 一元掺杂SnO_2薄膜的制备与表征 | 第28-52页 |
| 2.1 一元掺杂SnO_2薄膜的制备 | 第28-30页 |
| 2.1.1 原料与设备 | 第28-29页 |
| 2.1.2 实验步骤 | 第29-30页 |
| 2.2 一元掺杂SnO_2薄膜的结构与形貌 | 第30-34页 |
| 2.2.1 物相分析 | 第30-31页 |
| 2.2.2 表面形貌分析 | 第31-34页 |
| 2.2.3 膜厚分析 | 第34页 |
| 2.3 热处理对一元掺杂SnO_2薄膜形貌的影响 | 第34-36页 |
| 2.4 一元掺杂SnO_2薄膜的光学性能分析 | 第36-47页 |
| 2.4.1 可见光透过率 | 第36-42页 |
| 2.4.2 紫外透过率 | 第42-46页 |
| 2.4.3 能隙变化 | 第46-47页 |
| 2.5 一元掺杂SnO_2薄膜的电学性能分析 | 第47-51页 |
| 2.5.1 镀膜温度对方块电阻的影响 | 第47-49页 |
| 2.5.2 Sb掺杂量对方块电阻的影响 | 第49-50页 |
| 2.5.3 镀膜时间对方块电阻的影响 | 第50-51页 |
| 2.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 第3章 二元掺杂SnO_2薄膜的制备与表征 | 第52-70页 |
| 3.1 二元掺杂SnO_2薄膜的制备 | 第52-53页 |
| 3.1.1 原料与设备 | 第52页 |
| 3.1.2 实验步骤 | 第52-53页 |
| 3.2 二元掺杂SnO_2薄膜的结构与形貌 | 第53-58页 |
| 3.2.1 物相分析 | 第53-56页 |
| 3.2.2 表面形貌分析 | 第56-58页 |
| 3.3 二元掺杂SnO_2薄膜的光学性能分析 | 第58-66页 |
| 3.3.1 可见光透过率 | 第58-61页 |
| 3.3.2 紫外透过率 | 第61-65页 |
| 3.3.3 能隙变化 | 第65-66页 |
| 3.5 二元掺杂SnO_2薄膜电学性能分析 | 第66-69页 |
| 3.6 本章小结 | 第69-70页 |
| 全文总结 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
