| 摘要 | 第10-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第15-27页 |
| 1.1 铁电薄膜电容器简介 | 第15-17页 |
| 1.1.1 铁电薄膜简介 | 第15页 |
| 1.1.2 钛酸钡薄膜简介 | 第15-16页 |
| 1.1.3 储能电容器简介 | 第16-17页 |
| 1.2 BaTiO_3薄膜的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.1 BaTiO_3薄膜的制备现状 | 第17-18页 |
| 1.2.2 储能电容器的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 BaTiO_3薄膜的制备方法 | 第19-21页 |
| 1.3.1 物理方法 | 第19-20页 |
| 1.3.2 化学方法 | 第20-21页 |
| 1.4 提高储能密度的方法及意义 | 第21-24页 |
| 1.5 本课题的研究目标及内容 | 第24-27页 |
| 1.5.1 本课题研究目标 | 第24页 |
| 1.5.2 本课题研究内容 | 第24-27页 |
| 第二章 BaTiO_3薄膜的制备与表征 | 第27-33页 |
| 2.1 BaTiO_3薄膜的制备 | 第27-30页 |
| 2.1.1 仪器及材料准备 | 第27-28页 |
| 2.1.2 底电极及其选择依据 | 第28页 |
| 2.1.3 BaTiO_3薄膜电容器的溅射制备 | 第28-30页 |
| 2.2 薄膜的微观结构表征 | 第30-31页 |
| 2.3 薄膜的电学性能表征 | 第31-32页 |
| 2.3.1 薄膜的铁电性能表征 | 第31-32页 |
| 2.3.2 薄膜的介电及充放电性能表征 | 第32页 |
| 2.3.3 薄膜的压电性能表征 | 第32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 中低温高度取向BaTiO_3薄膜的制备 | 第33-45页 |
| 3.1 高取向BaTiO_3薄膜的设计制备及其微观结构 | 第33-36页 |
| 3.2 中低温BaTiO_3薄膜的电学性能 | 第36-42页 |
| 3.2.1 BaTiO_3薄膜的铁电性能 | 第36-37页 |
| 3.2.2 BaTiO_3薄膜的介电性能 | 第37-41页 |
| 3.2.3 BaTiO_3薄膜的压电性能 | 第41-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-45页 |
| 第四章 BaTiO_3薄膜电容器的储能密度及充放电特性研究 | 第45-65页 |
| 4.1 BaTiO_3薄膜电容器储能密度的研究 | 第45-46页 |
| 4.1.1 储能密度的计算方法 | 第45-46页 |
| 4.1.2 储能BaTiO_3薄膜的设计 | 第46页 |
| 4.2 薄膜电容器充放电测试原理 | 第46-48页 |
| 4.3 BaTiO_3薄膜的理论储能密度 | 第48-52页 |
| 4.3.1 不同厚度的BaTiO_3薄膜的制备 | 第48-49页 |
| 4.3.2 BaTiO_3薄膜的理论储能密度 | 第49-50页 |
| 4.3.3 BaTiO_3薄膜的理论储能密度随温度的变化 | 第50-52页 |
| 4.4 BaTiO_3薄膜电容器的充放电测试结果 | 第52-60页 |
| 4.4.1 BaTiO_3薄膜的充放电测试过程 | 第52-55页 |
| 4.4.2 BaTiO_3薄膜的最高实际放电能量密度 | 第55-56页 |
| 4.4.3 寄生电容 | 第56-60页 |
| 4.5 充放电测试系统的优势及不足之处 | 第60-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-65页 |
| 第五章 结论与展望 | 第65-69页 |
| 5.1 结论 | 第65页 |
| 5.2 展望 | 第65-66页 |
| 5.3 主要创新点 | 第66-69页 |
| 参考文献 | 第69-79页 |
| 致谢 | 第79-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第81-82页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第82页 |
