微波探针在等离子体中的仿真和实验
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 等离子体技术简介 | 第11-12页 |
| 1.1.1 等离子体物理背景 | 第11-12页 |
| 1.1.2 低温等离子体技术具体应用 | 第12页 |
| 1.2 低温等离子体诊断方法 | 第12-15页 |
| 1.3 等离子体吸收探针研究现状 | 第15-17页 |
| 第二章 等离子体吸收探针理论基础 | 第17-23页 |
| 2.1 等离子体吸收探针的表面波共振吸收原理 | 第17-20页 |
| 2.2 冷等离子体近似下的电磁理论模型 | 第20-23页 |
| 第三章 基于微波探针的微波电路设计与测试 | 第23-43页 |
| 3.1 微波电路的概念设计 | 第23-25页 |
| 3.2 微波电路器件的选择 | 第25-27页 |
| 3.2.1 SSB的原理 | 第25-27页 |
| 3.3 器件的测试 | 第27-34页 |
| 3.3.1 频率源的选择与测试结果 | 第28-32页 |
| 3.3.2 单边带调制器的测试结果 | 第32-34页 |
| 3.4 整体测试结果 | 第34-43页 |
| 3.4.1 中频信号的稳定性 | 第35-36页 |
| 3.4.2 跳频时间 | 第36-37页 |
| 3.4.3 中频信号幅度 | 第37页 |
| 3.4.5 系统测试结果 | 第37-43页 |
| 第四章 微波探针在等离子体环境中的仿真 | 第43-57页 |
| 4.1 CST在电磁仿真中的应用 | 第43-46页 |
| 4.2 CST建模过程 | 第46-47页 |
| 4.3 CST在等离子体中仿真结果 | 第47-51页 |
| 4.3.1 体积波的仿真结果 | 第47-50页 |
| 4.3.2 表面波的仿真结果 | 第50-51页 |
| 4.4 CST在磁化等离子体中的仿真计算 | 第51-57页 |
| 第五章 微波探针在磁化等离子体中的实验结果 | 第57-61页 |
| 5.1 实验安排 | 第57-58页 |
| 5.2 实验结果 | 第58-61页 |
| 第六章 高通滤波板的优化设计 | 第61-71页 |
| 6.1 高通滤波板在ECEI中的应用简介 | 第61-62页 |
| 6.2 高通滤波板理论设计分析 | 第62-67页 |
| 6.3 高通滤波板仿真设计与优化结果 | 第67-71页 |
| 第七章 总结与展望 | 第71-75页 |
| 7.1 研究工作的总结 | 第71-72页 |
| 7.2 未来研究方向的展望 | 第72-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 硕士期间发表的文章和取得的研究成果 | 第79页 |
