| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-36页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 太阳能电池简介 | 第13-17页 |
| 1.2.1 太阳能电池的基本工作原理 | 第13-14页 |
| 1.2.2 太阳能电池的发展简史 | 第14-15页 |
| 1.2.3 太阳能电池的分类 | 第15-17页 |
| 1.3 CIGS基太阳能电池 | 第17-24页 |
| 1.3.1 CIGS的发展及现状 | 第17-20页 |
| 1.3.2 CIGS太阳能电池结构 | 第20页 |
| 1.3.3 CIGS材料的性质 | 第20-21页 |
| 1.3.4 CIGS的制备技术 | 第21-24页 |
| 1.4 磁控溅射制备CIGS薄膜太阳能电池的概况 | 第24-28页 |
| 1.5 目前存在的主要问题 | 第28-29页 |
| 1.6 论文研究目的、思路和主要内容 | 第29-30页 |
| 参考文献 | 第30-36页 |
| 第二章 磁控溅射铜铟镓硒（CIGS=1:0.7:0.3:2）陶瓷靶制备CIGS薄膜及其特性研究 | 第36-49页 |
| 2.1 前言 | 第36-37页 |
| 2.2 实验部分 | 第37-39页 |
| 2.2.1 仪器与靶材、试剂 | 第37-38页 |
| 2.2.2 基片处理 | 第38页 |
| 2.2.3 实验过程 | 第38-39页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第39-46页 |
| 2.3.1 不同靶材与样品之间的距离对铜铟镓硒预制层薄膜形貌的影响 | 第39-40页 |
| 2.3.2 不同靶材与样品之间的距离对铜铟镓硒预制层薄膜组份的影响 | 第40-41页 |
| 2.3.3 退火处理后不同靶材与样品之间的距离对铜铟镓硒预制层薄膜形貌的影响 | 第41-42页 |
| 2.3.4 退火处理后不同靶材与样品之间的距离的铜铟镓硒薄膜组份的变化 | 第42-43页 |
| 2.3.5 退火处理后不同靶材与样品之间的距离铜铟镓硒薄膜的性能分析 | 第43-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第三章 磁控溅射铜铟镓硒（CIGS=0.84:0.8:0.36:2）陶瓷靶制备CIGS薄膜及其特性研究 | 第49-60页 |
| 3.1 前言 | 第49页 |
| 3.2 实验部分 | 第49-53页 |
| 3.2.1 仪器与靶材、试剂 | 第49-51页 |
| 3.2.2 基片处理 | 第51页 |
| 3.2.3 实验过程 | 第51-53页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第53-58页 |
| 3.3.1 不同退火温度对铜铟镓硒薄膜形貌的影响 | 第53-54页 |
| 3.3.2 不同退火温度下铜铟镓硒薄膜的性能分析 | 第54-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第四章 共溅射铜铟镓硒（CIGS=1:0.7:0.3:2）陶瓷靶和铟靶制备CIGS薄膜及其特性研究 | 第60-78页 |
| 4.1 引言 | 第60页 |
| 4.2 实验部分 | 第60-64页 |
| 4.2.1 仪器与靶材、试剂 | 第60-62页 |
| 4.2.2 基片处理 | 第62页 |
| 4.2.3 实验过程 | 第62-64页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第64-75页 |
| 4.3.1 固定铜铟镓硒靶功率 90W 调节铟靶功率制备的薄膜的形貌表征 | 第64-65页 |
| 4.3.2 固定铜铟镓硒靶功率 90W 调节铟靶功率制备的薄膜的性能表征 | 第65-68页 |
| 4.3.3 固定铟靶功率 70W 调节铜铟镓硒靶功率制备的薄膜的形貌表征 | 第68-69页 |
| 4.3.4 固定铟靶功率 70W 调节铜铟镓硒靶功率制备的薄膜的性能表征 | 第69-72页 |
| 4.3.5 固定铜铟镓硒靶功率 110W 调节铟靶功率制备的薄膜以验证最佳点 | 第72-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 工作总结 | 第78-79页 |
| 5.2 问题和展望 | 第79-80页 |
| 5.2.1 存在的问题 | 第79页 |
| 5.2.2 展望 | 第79-80页 |
| 硕士期间发表和已完成的工作 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
