| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-20页 |
| 1.2.1 MEMS微机械加速度计国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 Sigma-Delta调制器国内外研究现状 | 第15-20页 |
| 1.3 课题的主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 闭环微加速度计与数字Sigma-Delta调制器原理 | 第21-35页 |
| 2.1 叉指式电容微机械结构 | 第21-25页 |
| 2.1.1 电容式微机械结构的动力学分析 | 第21-22页 |
| 2.1.2 电容式微机械加速度计工作原理 | 第22-25页 |
| 2.2 闭环电容式微机械加速度传感器 | 第25-27页 |
| 2.2.1 闭环机械结构受力分析 | 第25-26页 |
| 2.2.2 闭环检测原理 | 第26-27页 |
| 2.3 Sigma-Delta微加速度计基本结构 | 第27-30页 |
| 2.3.1 奈奎斯特与过采样原理 | 第27-29页 |
| 2.3.2 噪声整形技术 | 第29-30页 |
| 2.4 数字Sigma-Delta的结构及工作原理 | 第30-33页 |
| 2.4.1 Sigma-Delta调制器结构 | 第30-33页 |
| 2.4.2 量化器位数 | 第33页 |
| 2.5 本章小节 | 第33-35页 |
| 第三章 闭环传感器系统动态性能优化 | 第35-50页 |
| 3.1 闭环仿真模型建立 | 第35-41页 |
| 3.2 闭环系统动态性能仿真分析 | 第41-43页 |
| 3.2.1 仿真P对闭环动态性能的影响 | 第42页 |
| 3.2.2 仿真I对闭环动态性能的影响 | 第42-43页 |
| 3.3 闭环系统动态性能实验分析 | 第43-49页 |
| 3.3.1 零偏的来源与补偿 | 第43-46页 |
| 3.3.2 实验P对闭环动态性能的影响 | 第46-47页 |
| 3.3.3 实验I对闭环动态性能的影响 | 第47-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 数字Sigma-Delta微加速度计的设计 | 第50-66页 |
| 4.1 Sigma-Delta微加速度计基本结构 | 第50-51页 |
| 4.2 Sigma-Delta调制器的设计与simulink仿真 | 第51-61页 |
| 4.2.1 数字Sigma-Delta调制器的设计指标 | 第51页 |
| 4.2.2 Sigma-Delta调制器设计 | 第51-54页 |
| 4.2.3 NTF与STF的设计 | 第54-57页 |
| 4.2.4 系数编码优化 | 第57页 |
| 4.2.5 系统级建模仿真 | 第57-61页 |
| 4.3 数字Sigma-Delta调制器的实现与功能仿真 | 第61-63页 |
| 4.4 Sigma-Delta微加速度计系统设计 | 第63-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 本文总结 | 第66-67页 |
| 5.2 展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第74-75页 |
| 附录 | 第75-78页 |
