| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 ZrB2材料简介 | 第11-19页 |
| 1.2.1 ZrB2的结构与性质 | 第11-13页 |
| 1.2.2 ZrB2陶瓷的应用 | 第13页 |
| 1.2.3 ZrB2陶瓷的研究现状 | 第13-19页 |
| 1.3 ZrC材料简介 | 第19-21页 |
| 1.3.1 ZrC的物理化学性质 | 第19页 |
| 1.3.2 ZrC材料的应用 | 第19-20页 |
| 1.3.3 ZrC陶瓷研究进展 | 第20页 |
| 1.3.4 ZrC涂层的研究进展 | 第20-21页 |
| 1.4 金属铌材料简介 | 第21-22页 |
| 1.4.1 Nb物理化学性质 | 第21页 |
| 1.4.2 Nb的力学性能 | 第21-22页 |
| 1.4.3 Nb的应用 | 第22页 |
| 1.5 论文研究内容，目的及意义 | 第22-24页 |
| 第2章 ZrC靶材烧结及ZrC薄膜制备 | 第24-41页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 实验与测试 | 第24-28页 |
| 2.2.1 实验原料 | 第24-25页 |
| 2.2.2 实验设备 | 第25-26页 |
| 2.2.3 测试方法 | 第26-27页 |
| 2.2.4 工艺流程 | 第27-28页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第28-40页 |
| 2.3.1 ZrC靶材烧结研究 | 第28-34页 |
| 2.3.1.1 烧结温度对陶瓷烧结影响 | 第28-31页 |
| 2.3.1.2 升温速率对陶瓷烧结影响 | 第31-32页 |
| 2.3.1.3 烧结压力对单相陶瓷烧结影响 | 第32-34页 |
| 2.3.2 ZrC薄膜沉积 | 第34-40页 |
| 2.3.2.1 沉积温度对ZrC薄膜沉积速率的影响 | 第34-35页 |
| 2.3.2.2 沉积温度对ZrC薄膜结构的影响 | 第35-38页 |
| 2.3.2.3 沉积温度对薄膜性能的影响 | 第38-39页 |
| 2.3.2.4 沉积温度对薄膜孔隙率的影响 | 第39-40页 |
| 2.4 小结 | 第40-41页 |
| 第3章 ZrB2-SiC/Nb复合陶瓷的制备 | 第41-64页 |
| 3.1 实验与测试 | 第41-45页 |
| 3.1.1 实验原料 | 第41-42页 |
| 3.1.2 实验设计与工艺流程 | 第42-44页 |
| 3.1.3 分析测试 | 第44-45页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第45-63页 |
| 3.2.1 粉体ZrB2-SiC与金属Nb箔叠层复合材料 | 第45-49页 |
| 3.2.1.1 烧结温度影响 | 第45-48页 |
| 3.2.1.2 金属Nb层厚度对结构的影响 | 第48-49页 |
| 3.2.2 块体ZrB2-SiC与金属Nb箔叠层复合材料 | 第49-63页 |
| 3.2.2.1 烧结温度的影响 | 第50-54页 |
| 3.3.2.2 ZrC薄膜对Nb与块体ZrB2-SiC相互作用的影响 | 第54-56页 |
| 3.2.2.3 烧结压力的影响 | 第56-60页 |
| 3.2.2.4 保温时间的影响 | 第60-63页 |
| 3.3 小结 | 第63-64页 |
| 第4章 总结 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第70页 |
