| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 问题的提出及研究意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 课题的研究目标 | 第13页 |
| 1.4 课题的研究内容 | 第13-14页 |
| 1.5 课题的创新之处 | 第14-16页 |
| 2 弹性力学中薄板问题的基本理论 | 第16-24页 |
| 2.1 薄板小挠度理论 | 第16-19页 |
| 2.1.1 基本方程 | 第16-18页 |
| 2.1.2 基本方程的求解 | 第18-19页 |
| 2.2 薄板大挠度理论 | 第19-22页 |
| 2.2.1 几何方程的建立 | 第19-20页 |
| 2.2.2 平衡方程 | 第20-21页 |
| 2.2.3 协调方程 | 第21-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-24页 |
| 3 薄膜及膜/基体系力学性质的现有测试技术 | 第24-50页 |
| 3.1 薄膜材料的弹性系数测试方法 | 第24-37页 |
| 3.1.1 单向微拉伸法 | 第24-25页 |
| 3.1.2 悬臂梁法 | 第25-26页 |
| 3.1.3 静压鼓泡法 | 第26-28页 |
| 3.1.4 轴载鼓泡法 | 第28-29页 |
| 3.1.5 X射线和激光曲率结合的方法 | 第29-31页 |
| 3.1.6 压痕法 | 第31-37页 |
| 3.2 薄膜残余应力的测试方法 | 第37-39页 |
| 3.2.1 钻孔法与环芯法 | 第37页 |
| 3.2.2 深孔法 | 第37-38页 |
| 3.2.3 剥层法 | 第38页 |
| 3.2.4 纳米压痕法 | 第38页 |
| 3.2.5 X射线衍射法 | 第38-39页 |
| 3.3 薄膜/基层界面粘附强度的测试方法 | 第39-48页 |
| 3.3.1 超声波法 | 第39-40页 |
| 3.3.2 垂直拉拔法 | 第40-41页 |
| 3.3.3 超速离心法 | 第41-43页 |
| 3.3.4 剥皮法 | 第43-45页 |
| 3.3.5 透明胶带法 | 第45-46页 |
| 3.3.6 鼓泡法 | 第46页 |
| 3.3.7 剪切法 | 第46-47页 |
| 3.3.8 刮擦法 | 第47-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 4 膜/基体系力学性质同步测试的力学模型求解 | 第50-78页 |
| 4.1 轴加载的周边夹紧的带有初始应力的圆膜问题解析求解 | 第51-65页 |
| 4.1.1 薄膜方程的建立 | 第51-55页 |
| 4.1.2 微分方程的幂级数解 | 第55-63页 |
| 4.1.3 算例分析 | 第63-65页 |
| 4.2 轴加载的周边夹紧的带有初始应力的硬芯环膜问题解析求解 | 第65-77页 |
| 4.2.1 薄膜方程的建立 | 第65-68页 |
| 4.2.2 微分方程的求解 | 第68-75页 |
| 4.2.3 算例分析 | 第75-77页 |
| 4.3 本章小结 | 第77-78页 |
| 5 带有残余应力的膜/基体系力学性质的同步测试理论 | 第78-92页 |
| 5.1 轴加载鼓泡法同步测试理论 | 第78-82页 |
| 5.1.1 薄膜杨氏弹性模量、残余应力及泊松比的确定 | 第78-81页 |
| 5.1.2 膜/基界面粘附强度的确定 | 第81-82页 |
| 5.2 夹紧硬芯加载鼓泡法同步测试理论 | 第82-90页 |
| 5.2.1 薄膜杨氏弹性模量、残余应力及泊松比的确定 | 第82-88页 |
| 5.2.2 膜/基界面粘附强度的确定 | 第88-90页 |
| 5.3 本章小结 | 第90-92页 |
| 6 与现有测量方法的对比分析 | 第92-98页 |
| 6.1 本文测量方法的优越性 | 第92页 |
| 6.2 与现有测量方法的比较 | 第92-95页 |
| 6.2.1 关于弹性模量、泊松比的测试 | 第92-94页 |
| 6.2.2 关于膜/基界面粘附强度的测试 | 第94-95页 |
| 6.3 本章小结 | 第95-98页 |
| 7 结论与展望 | 第98-100页 |
| 7.1 主要结论 | 第98页 |
| 7.2 后续研究展望 | 第98-100页 |
| 致谢 | 第100-102页 |
| 参考文献 | 第102-108页 |
| 附录 | 第108-109页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第108页 |
| B. 作者在攻读硕士学位期间申报的国家发明专利 | 第108-109页 |
| C. 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第109页 |
