| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 缩略词表 | 第9-13页 |
| 1 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 FBAR的工作原理及基本结构 | 第14-25页 |
| 1.2.1 FBAR工作的基本原理 | 第14-17页 |
| 1.2.2 衡量FBAR的性能参数 | 第17-18页 |
| 1.2.3 适用于FBAR的压电材料 | 第18-20页 |
| 1.2.4 FBAR的基本结构 | 第20-25页 |
| 1.3 FBAR的研究现状及新型FBAR研究意义 | 第25-27页 |
| 1.4 论文的研究内容和章节安排 | 第27-29页 |
| 1.4.1 论文的研究内容 | 第27页 |
| 1.4.2 各章节内容安排 | 第27-29页 |
| 2 新型FBAR的理论与仿真 | 第29-47页 |
| 2.1 理论分析 | 第29-39页 |
| 2.1.1 压电方程及声波传输 | 第29-37页 |
| 2.1.2 声阻抗理论 | 第37-39页 |
| 2.2 COMSOL有限元仿真 | 第39-44页 |
| 2.3 Mason模型电学仿真 | 第44-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 3 新型FBAR的制备与测试 | 第47-59页 |
| 3.1 PI-FBAR的制备 | 第47-54页 |
| 3.1.1 PI支撑层的制备流程 | 第47-48页 |
| 3.1.2 PI-FBAR的制备流程 | 第48-51页 |
| 3.1.3 ZnO压电层的制备和表征 | 第51-54页 |
| 3.2 PI-FBAR器件的测试 | 第54-57页 |
| 3.2.1 不同PI厚度测试结果对比 | 第54-55页 |
| 3.2.2 PI-FBAR与背刻蚀FBAR测试结果对比 | 第55-56页 |
| 3.2.3 PI-FABR测试与仿真对比 | 第56-57页 |
| 3.3 本章小结 | 第57-59页 |
| 4 任意衬底上的新型FBAR研究 | 第59-67页 |
| 4.1 在不同衬底上制备及测试 | 第59-61页 |
| 4.1.1 金属铜衬底FBAR | 第59-60页 |
| 4.1.2 透明玻璃衬底FBAR | 第60页 |
| 4.1.3 柔性纸衬底FBAR | 第60-61页 |
| 4.2 测试结果分析 | 第61-64页 |
| 4.2.1 谐振频率 | 第63页 |
| 4.2.2 品质因数 | 第63-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-67页 |
| 5 新型FBAR的应用 | 第67-81页 |
| 5.1 温度传感 | 第67-69页 |
| 5.1.1 FBAR温度传感原理 | 第67-68页 |
| 5.1.2 新型FBAR的温度传感测试 | 第68-69页 |
| 5.2 磁力传感 | 第69-72页 |
| 5.2.1 FBAR磁力传感原理 | 第69-70页 |
| 5.2.2 制备及测试 | 第70-72页 |
| 5.3 紫外线传感 | 第72-74页 |
| 5.3.1 FBAR紫外线传感原理 | 第72页 |
| 5.3.2 新型FBAR紫外线传感测试 | 第72-74页 |
| 5.4 可集成方面 | 第74-79页 |
| 5.4.1 制备流程 | 第74-76页 |
| 5.4.2 测试结果 | 第76-77页 |
| 5.4.3 与射频集成电路集成 | 第77-79页 |
| 5.5 本章小结 | 第79-81页 |
| 6 总结与展望 | 第81-85页 |
| 6.1 论文主要研究内容和成果 | 第81-82页 |
| 6.2 论文的不足之处及进一步工作 | 第82-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第91-92页 |