| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的意义 | 第11-12页 |
| 1.2 BiFeO_3体系材料的概述 | 第12-13页 |
| 1.2.1 BiFeO_3的结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 BiFeO_3的铁电性 | 第13页 |
| 1.3 铁电薄膜的自极化 | 第13-16页 |
| 1.4 BiFeO_3研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4.1 掺杂改性的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4.2 优化制备工艺的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4.3 复合薄膜的研究现状 | 第18页 |
| 1.5 铁电薄膜的制备方法 | 第18-21页 |
| 1.5.1 溅射镀膜法 | 第19-20页 |
| 1.5.2 分子束外延 | 第20页 |
| 1.5.3 脉冲激光沉积 | 第20-21页 |
| 1.5.4 化学气相沉积法 | 第21页 |
| 1.5.5 溶胶—凝胶法 | 第21页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 实验材料与制备分析方法 | 第23-30页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 实验材料和设备 | 第23-24页 |
| 2.3 具体实验方法 | 第24-27页 |
| 2.3.1 LaNiO_3缓冲层的制备 | 第24-25页 |
| 2.3.2 纯BiFeO_3薄膜的制备 | 第25-26页 |
| 2.3.3 Ba~(2+)-Ti~(4+)离子对掺杂BiFeO_3薄膜的制备 | 第26-27页 |
| 2.3.4 Au顶电极的制备 | 第27页 |
| 2.3.5 薄膜的电场热处理 | 第27页 |
| 2.4 结构分析与性能测试 | 第27-30页 |
| 2.4.1 薄膜的物相结构分析 | 第28页 |
| 2.4.2 BiFeO_3表面形貌分析 | 第28页 |
| 2.4.3 BiFeO_3厚度的测量 | 第28页 |
| 2.4.4 BiFeO_3介电测试分析 | 第28页 |
| 2.4.5 BiFeO_3的I-V特性分析 | 第28-29页 |
| 2.4.6 BiFeO_3的电滞回线测试 | 第29-30页 |
| 第3章 退火温度对BiFeO_3薄膜结构与性能的影响 | 第30-44页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 退火温度对BiFeO_3薄膜形貌与组织结构的影响 | 第30-35页 |
| 3.2.1 BiFeO_3薄膜的表面AFM形貌与粗糙度 | 第30-32页 |
| 3.2.2 BiFeO_3薄膜的断面SEM形貌 | 第32-33页 |
| 3.2.3 BiFeO_3薄膜的XRD物相结构 | 第33-35页 |
| 3.3 退火温度对BiFeO_3薄膜介电性能的影响 | 第35-38页 |
| 3.3.1 BiFeO_3薄膜的介电常数分析 | 第35-37页 |
| 3.3.2 BiFeO_3薄膜的介电损耗分析 | 第37-38页 |
| 3.4 退火温度对BiFeO_3薄膜铁电性能的影响 | 第38-42页 |
| 3.4.1 BiFeO_3薄膜的I-V特性分析 | 第38-40页 |
| 3.4.2 BiFeO_3薄膜的电滞回线分析 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 Ba~(2+)-Ti~(4+)掺杂的BiFeO_3薄膜结构与性能研究 | 第44-56页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 掺杂量对Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜组织结构与形貌的影响 | 第44-48页 |
| 4.2.1 Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的AFM形貌与粗糙度 | 第44-46页 |
| 4.2.2 Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的断面SEM形貌 | 第46-47页 |
| 4.2.3 Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的XRD物相结构 | 第47-48页 |
| 4.3 掺杂量对Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜介电性能的影响 | 第48-51页 |
| 4.3.1 Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的介电常数分析 | 第48-49页 |
| 4.3.2 Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的介电损耗分析 | 第49-51页 |
| 4.4 掺杂量对Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜铁电性能的影响 | 第51-54页 |
| 4.4.1 Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的I-V特性分析 | 第51-52页 |
| 4.4.2 Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的电滞回线分析 | 第52-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 电场热处理对Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜性能影响 | 第56-62页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 电场热处理对Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的I-V曲线的影响 | 第56-58页 |
| 5.3 电场热处理对Bi_(1-2x)(BaTi)_xFeO_3薄膜的电滞回线的影响 | 第58-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
