| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 自由曲面检测技术国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 自由曲面检测技术国外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 自由曲面检测技术国内研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 共焦显微技术国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 外差共焦显微技术原理 | 第18-33页 |
| 2.1 外差共焦显微技术面形测量基本原理 | 第18-19页 |
| 2.2 理想平面无限远距共焦显微成像理论及特性分析 | 第19-29页 |
| 2.2.1 共焦显微成像原理 | 第20-21页 |
| 2.2.2 无限远距共焦显微成像理论 | 第21-27页 |
| 2.2.3 理想平面无限远距共焦显微成像轴向特性分析 | 第27-29页 |
| 2.3 外差干涉技术测量原理 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 外差共焦显微测量系统设计 | 第33-53页 |
| 3.1 外差共焦显微测量系统总体方案设计 | 第33-35页 |
| 3.2 外差共焦显微光学系统设计 | 第35-52页 |
| 3.2.1 共焦显微物镜光学系统设计 | 第36-45页 |
| 3.2.2 激光扩束物镜光学系统设计 | 第45-49页 |
| 3.2.3 聚光物镜光学系统设计 | 第49-52页 |
| 3.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 外差共焦显微系统仿真验证 | 第53-69页 |
| 4.1 共焦显微系统仿真 | 第54-59页 |
| 4.1.1 共焦显微系统仿真光路搭建 | 第54-56页 |
| 4.1.2 共焦显微系统仿真结果与分析 | 第56-59页 |
| 4.2 外差干涉系统仿真 | 第59-68页 |
| 4.2.1 外差干涉系统仿真光路搭建 | 第59-65页 |
| 4.2.2 外差干涉系统仿真光路结果与分析 | 第65-68页 |
| 4.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |