荫罩母板精密自动对准系统的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 精密对准技术的研究概述 | 第8-12页 |
| 1.2.1 精密对准检测技术的发展 | 第9-10页 |
| 1.2.2 精密对准宏微驱动技术的发展 | 第10-11页 |
| 1.2.3 精密对准的控制技术 | 第11-12页 |
| 1.3 本课题的研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 精密位移测量的建模与仿真 | 第13-22页 |
| 2.1 光栅结构原理 | 第13-14页 |
| 2.2 透射式二次衍射光栅系统的建模 | 第14-16页 |
| 2.3 透射光栅模型的三维仿真 | 第16-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 荫罩母板精密自动对准系统的设计 | 第22-35页 |
| 3.1 母板自动对准方案总体设计 | 第22-25页 |
| 3.1.1 母板加工工艺 | 第22-23页 |
| 3.1.2 系统总体设计 | 第23-25页 |
| 3.2 光路系统设计 | 第25-26页 |
| 3.3 光栅结构的设计 | 第26-28页 |
| 3.3.1 光栅结构的设计 | 第26页 |
| 3.3.2 光栅安装设计 | 第26-27页 |
| 3.3.3 差动叠栅信号技术 | 第27-28页 |
| 3.4 光电检测电路设计 | 第28-30页 |
| 3.4.1 光电探测仪 | 第28-29页 |
| 3.4.2 光电检测电路 | 第29-30页 |
| 3.5 工控机操作系统 | 第30-32页 |
| 3.5.1 工控机的选择 | 第30-31页 |
| 3.5.2 PCI-1712数据采集卡 | 第31-32页 |
| 3.6 系统软件设计 | 第32-34页 |
| 3.7 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 宏微驱动技术设计 | 第35-44页 |
| 4.1 宏对准系统设计 | 第35-37页 |
| 4.1.1 步进电机驱动 | 第35-36页 |
| 4.1.2 精密滚珠丝杠 | 第36-37页 |
| 4.2 微对准系统设计 | 第37-40页 |
| 4.2.1 压电陶瓷驱动器的选择 | 第38-39页 |
| 4.2.2 柔性铰链设计与分析 | 第39-40页 |
| 4.3 宏微复合双驱动系统实验分析 | 第40-42页 |
| 4.3.1 复合驱动设计算法 | 第40页 |
| 4.3.2 网板宏微对准实验步骤 | 第40-42页 |
| 4.4 实验结果及分析 | 第42-43页 |
| 4.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 荫罩母板精密对准控制技术的研究 | 第44-55页 |
| 5.1 宏对准的智能控制 | 第44-46页 |
| 5.1.1 模糊控制器的设计 | 第44-46页 |
| 5.1.2 实验结果及分析 | 第46页 |
| 5.2 压电陶瓷特性分析 | 第46-48页 |
| 5.3 微对准智能控制 | 第48-54页 |
| 5.3.1 自适应模糊控制 | 第48页 |
| 5.3.2 自适应模糊PID控制器的设计 | 第48-52页 |
| 5.3.3 实验结果分析 | 第52-54页 |
| 5.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第6章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 6.1 总结 | 第55-56页 |
| 6.2 展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 在读期间发表的学术论文及研究成果 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
