| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 微加速度计简介 | 第10-12页 |
| 1.1.1 微加速度计的测量原理 | 第10-11页 |
| 1.1.2 微加速度计的应用范围 | 第11-12页 |
| 1.2 微加速度计的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.1 MEMS加速度计的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 MOEMS加速度计的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 微加速度计的发展方向 | 第14-15页 |
| 1.4 研究内容及目标 | 第15-16页 |
| 1.4.1 研究背景和目标 | 第15页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第15-16页 |
| 2 MOEMS加速度计系统介绍 | 第16-21页 |
| 2.1 MOEMS加速度计的位移传感结构 | 第16-18页 |
| 2.2 MOEMS加速度计的加速度传感结构 | 第18-19页 |
| 2.3 MOEMS加速度计传感芯片 | 第19页 |
| 2.4 MOEMS加速度计系统的工作原理 | 第19-21页 |
| 3 MOEMS加速度计的信号处理系统 | 第21-53页 |
| 3.1 MOEMS加速度计的信号处理方案 | 第21-22页 |
| 3.1.1 时域检测法 | 第21页 |
| 3.1.2 频域检测法 | 第21页 |
| 3.1.3 时频分析法 | 第21-22页 |
| 3.1.4 基于非线性理论的检测法 | 第22页 |
| 3.2 相位调制-解调技术 | 第22-26页 |
| 3.2.1 相位调制的实现 | 第22-24页 |
| 3.2.2 解调过程的实现 | 第24-26页 |
| 3.3 信号调理电路设计 | 第26-53页 |
| 3.3.1 信号调理电路各个模块设计 | 第26-47页 |
| 3.3.2 单光路信号处理系统设计 | 第47-49页 |
| 3.3.3 双光路信号处理系统设计 | 第49-53页 |
| 4 MOEMS加速度计实验结果和数据分析 | 第53-68页 |
| 4.1 电源性能测试 | 第53-54页 |
| 4.2 光源VCSEL的性能测试 | 第54-55页 |
| 4.3 单光路位移实验数据与分析 | 第55-62页 |
| 4.3.1 使用探测器OP1133的实验结果与分析 | 第55-58页 |
| 4.3.2 使用探测器S8745-01的实验结果与分析 | 第58-60页 |
| 4.3.3 单光路位移测量装置系统噪声 | 第60-62页 |
| 4.4 双光路位移实验数据与分析 | 第62-64页 |
| 4.5 加速度实验数据与分析 | 第64-68页 |
| 4.5.1 加速度翻滚实验结果与数据分析 | 第64-66页 |
| 4.5.2 加速度系统调制解调实验结果与数据分析 | 第66-68页 |
| 5 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 总结 | 第68页 |
| 5.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 作者简介 | 第73页 |