| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 1 碳的纳米形态-碳纳米管与碳纳米线圈 | 第10-25页 |
| 1.1 碳纳米管简介 | 第10-15页 |
| 1.1.1 碳纳米管的发现及研究背景 | 第10页 |
| 1.1.2 碳纳米管的分类 | 第10-12页 |
| 1.1.3 碳纳米管的制备 | 第12-14页 |
| 1.1.4 碳纳米管的性质及应用 | 第14-15页 |
| 1.2 碳纳米线圈简介 | 第15-24页 |
| 1.2.1 碳纳米线圈的发现及研究背景 | 第15-16页 |
| 1.2.2 碳纳米线圈的制备 | 第16-19页 |
| 1.2.3 碳纳米线圈的性质及应用 | 第19-24页 |
| 1.3 目前碳纳米线圈导电性存在的问题 | 第24-25页 |
| 2 制作四电极基板 | 第25-32页 |
| 2.1 光刻 | 第25-29页 |
| 2.1.1 光刻原理 | 第25页 |
| 2.1.2 光刻的工艺流程 | 第25-28页 |
| 2.1.3 小结 | 第28-29页 |
| 2.2 磁控溅射 | 第29-32页 |
| 3 电学测量方法与变程跳跃电导 | 第32-34页 |
| 3.1 四探针电学测试方法 | 第32-33页 |
| 3.2 变程跳跃电导Mott模型与Efros-Shklovskii模型 | 第33-34页 |
| 4 样品的制备 | 第34-37页 |
| 4.1 成长碳纳米线圈 | 第34-35页 |
| 4.2 提纯碳纳米线圈 | 第35页 |
| 4.3 转移碳纳米线圈 | 第35-37页 |
| 5 实验结果与讨论 | 第37-45页 |
| 5.1 碳纳米线圈的线径、螺径与螺距的统计 | 第37-38页 |
| 5.2 通过拉曼光谱估计晶粒大小 | 第38-39页 |
| 5.3 通过透射电镜图片来确定晶粒大小 | 第39页 |
| 5.4 低温条件下电学性质的测试与分析 | 第39-42页 |
| 5.5 高于室温的电学性质与分析 | 第42-43页 |
| 5.6 小结 | 第43-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |