首页--工业技术论文--化学工业论文--硅酸盐工业论文--陶瓷工业论文--基础理论论文

半导体制造用高纯超细碳化硅粉体制备及其陶瓷高值化研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第1章 绪论第12-26页
    1.1 碳化硅的基本性质第12-14页
    1.2 SiC粉末制备的研究现状第14-18页
        1.2.1 机械粉碎法第15-16页
        1.2.2 合成法第16-18页
        1.2.3 小结第18页
    1.3 碳化硅的成型工艺第18-20页
        1.3.1 模压成型第18-19页
        1.3.2 等静压成型第19页
        1.3.3 注浆成型第19-20页
        1.3.4 小结第20页
    1.4 碳化硅陶瓷的烧结工艺第20-23页
        1.4.1 反应烧结第20-21页
        1.4.2 重结晶烧结第21页
        1.4.3 等离子体电火花烧结第21-22页
        1.4.4 热压烧结第22页
        1.4.5 热等静压烧结第22页
        1.4.6 高压烧结第22-23页
        1.4.7 小结第23页
    1.5 本文的研究内容及技术路线第23-25页
        1.5.1 本文的研究内容第23-24页
        1.5.2 本文的技术路线第24-25页
    1.6 本章小结第25-26页
第2章 半导体制造业用碳化硅微纳米粉体制备工艺研究第26-35页
    2.1 实验材料、分析测试方法、设备原理第26-28页
        2.1.1 实验材料第26页
        2.1.2 分析测试方法第26-27页
        2.1.3 设备原理第27-28页
    2.2 测试结果与讨论第28-33页
        2.2.1 高能纳米球磨和水流分级后SiC的粒径分析第28-30页
        2.2.2 粒度形貌分析第30-31页
        2.2.3 SiC粒径分布图分析第31页
        2.2.4 纯度分析第31-32页
        2.2.5 表面形貌分析第32-33页
    2.3 本章小结第33-35页
第3章 微波酸/碱对微纳米碳化硅提纯工艺研究第35-45页
    3.1 实验材料、实验仪器、除杂原理第35-37页
        3.1.1 实验材料第35-36页
        3.1.2 试验装置和工艺原理介绍第36页
        3.1.3 除杂原理第36-37页
    3.2 Fe_2O_3的除杂实验第37-39页
        3.2.1 酸的浓度对去除Fe_2O_3的影响第37-38页
        3.2.2 反应温度对去除Fe_2O_3的影响第38页
        3.2.3 反应时间Fe_2O_3去除率的影响第38-39页
        3.2.4 固液比对Fe_2O_3去除率的影响第39页
    3.3 Si及SiO_2的除杂实验第39-41页
        3.3.1 碱浓度对Si及SiO_2去除率的影响第39-40页
        3.3.2 温度对Si及SiO_2去除率的影响第40页
        3.3.3 时间对Si及SiO_2去除率的影响第40-41页
        3.3.4 固液比对Si及SiO_2去除率的影响第41页
    3.4 正交试验第41-43页
    3.5 除杂前后碳化硅的形貌第43页
    3.6 除杂前后SiC成分分析第43-44页
    3.7 本章小结第44-45页
第4章 SiC陶瓷烧结制备与表征第45-62页
    4.1 实验材料、实验仪器、除杂原理第45-48页
        4.1.1 实验材料第45页
        4.1.2 实验仪器第45-46页
        4.1.3 实验过程第46-48页
    4.2 添入Al_2O_3对SiC陶瓷的影响第48-53页
        4.2.1 低温超高压烧结对SiC密度和硬度的影响第48-50页
        4.2.2 SiC物相组成第50-51页
        4.2.3 SiC微观结构分析第51-53页
    4.3 添入Al_2O_3-Y_2O_3粉对SiC陶瓷的影响第53-60页
        4.3.1 物相分析第53-54页
        4.3.2 密度和显微硬度第54-57页
        4.3.3 微观结构第57-60页
    4.4 本章小结第60-62页
第5章 结论第62-64页
参考文献第64-68页
致谢第68-69页
作者简介第69页

论文共69页,点击 下载论文
上一篇:法舒地尔在大鼠视神经损伤中的保护作用及对ET-1和HIF-1α的表达影响
下一篇:经皮椎体后凸成形术(PKP)中以球囊扩张容积为参照灌注不同比例剂量骨水泥的椎体生物力学研究