| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 缓蚀剂概述 | 第10-12页 |
| 1.2.1 Cu缓蚀剂概述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 唑类缓蚀剂概述 | 第12页 |
| 1.3 缓蚀剂作用机理的研究进展 | 第12-15页 |
| 1.3.1 缓蚀机理研究的常用方法 | 第12-14页 |
| 1.3.2 有机缓蚀剂的量子化学研究 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 实验方法和理论基础 | 第17-23页 |
| 2.1 实验方法 | 第17-19页 |
| 2.1.1 失重法 | 第17-18页 |
| 2.1.2 电化学方法 | 第18-19页 |
| 2.2 密度泛函理论 | 第19-23页 |
| 2.2.1 Hoherberg-korn定理和Kohn-sham方程 | 第19-21页 |
| 2.2.2 交换相关能泛函 | 第21-23页 |
| 第3章 缓蚀剂缓蚀性能及吸附机理的实验研究 | 第23-31页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 失重法实验结果 | 第23-24页 |
| 3.3 极化曲线实验结果 | 第24-27页 |
| 3.4 吸附等温模型的建立 | 第27-30页 |
| 3.5 小结 | 第30-31页 |
| 第4章 唑类缓蚀剂反应活性的量子化学研究 | 第31-41页 |
| 4.1 引言 | 第31页 |
| 4.2 计算方法 | 第31页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第31-40页 |
| 4.3.1 最优分子构型 | 第31-32页 |
| 4.3.2 前线轨道分布 | 第32-33页 |
| 4.3.3 全局反应活性分析 | 第33-35页 |
| 4.3.4 局部反应活性分析 | 第35-40页 |
| 4.4 小结 | 第40-41页 |
| 第5章 缓蚀剂在Cu（111）表面吸附行为的密度泛函理论研究 | 第41-56页 |
| 5.1 引言 | 第41页 |
| 5.2 计算方法与模型 | 第41-42页 |
| 5.3 计算结果与讨论 | 第42-55页 |
| 5.3.1 垂直吸附 | 第42-53页 |
| 5.3.2 物理吸附 | 第53-55页 |
| 5.4 小结 | 第55-56页 |
| 第6章 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |