| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 1 引言 | 第13-14页 |
| 2 文献综述 | 第14-35页 |
| 2.1 耐高温结构材料的研究现状 | 第14-23页 |
| 2.1.1 难熔金属及其合金 | 第14-15页 |
| 2.1.2 石墨 | 第15-16页 |
| 2.1.3 C/C复合材料 | 第16-17页 |
| 2.1.4 C/SiC复合材料 | 第17-18页 |
| 2.1.5 耐超高温陶瓷及其复合材料 | 第18-21页 |
| 2.1.6 耐高温结构材料的氧化烧蚀机理 | 第21-23页 |
| 2.2 耐高温结构材料抗氧化耐烧蚀涂层的研究进展 | 第23-28页 |
| 2.2.1 抗氧化耐烧蚀涂层的功能要求与结构设计 | 第23-24页 |
| 2.2.2 抗氧化耐烧蚀涂层的体系 | 第24-26页 |
| 2.2.3 抗氧化耐烧蚀涂层的制备工艺 | 第26-28页 |
| 2.3 CVD ZrC涂层的研究进展 | 第28-33页 |
| 2.4 选题背景及研究意义 | 第33-35页 |
| 3 研究内容与实验方法 | 第35-38页 |
| 3.1 研究方法 | 第35-37页 |
| 3.2 技术线路 | 第37-38页 |
| 4 锆源前驱体的制备工艺研究 | 第38-52页 |
| 4.1 实验反应体系的选择及设备 | 第38-40页 |
| 4.1.1 反应体系的选择 | 第38-39页 |
| 4.1.2 实验设备及工艺流程 | 第39-40页 |
| 4.2 实验原材料 | 第40-42页 |
| 4.2.1 基底材料 | 第40页 |
| 4.2.2 反应原料 | 第40-42页 |
| 4.3 锆源前驱体的制备与精确供给控制 | 第42-50页 |
| 4.3.1 热力学分析 | 第42-44页 |
| 4.3.2 卤化反应温度 | 第44-45页 |
| 4.3.3 载气流量 | 第45-47页 |
| 4.3.4 反应压力 | 第47-49页 |
| 4.3.5 反应时间 | 第49-50页 |
| 4.4 锆源前驱体的热化学性质 | 第50-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 ZrC涂层的制备工艺研究 | 第52-96页 |
| 5.1 沉积温度对ZrC涂层组成与结构的影响 | 第52-76页 |
| 5.1.1 沉积速率 | 第52-56页 |
| 5.1.2 组成与结构 | 第56-72页 |
| 5.1.3 力学性能 | 第72-74页 |
| 5.1.4 影响机制 | 第74-76页 |
| 5.2 反应前驱体组分对ZrC涂层组成与结构的影响 | 第76-82页 |
| 5.2.1 沉积速率 | 第77页 |
| 5.2.2 组成与结构 | 第77-80页 |
| 5.2.3 力学性能 | 第80页 |
| 5.2.4 影响机制 | 第80-82页 |
| 5.3 氢气浓度对ZrC涂层组成与结构的影响 | 第82-88页 |
| 5.3.1 沉积速率 | 第82-83页 |
| 5.3.2 组成与结构 | 第83-85页 |
| 5.3.3 力学性能 | 第85-86页 |
| 5.3.4 影响机制 | 第86-88页 |
| 5.4 沉积压力对ZrC涂层组成与结构的影响 | 第88-93页 |
| 5.4.1 沉积速率 | 第88-89页 |
| 5.4.2 组成与结构 | 第89-91页 |
| 5.4.3 力学性能 | 第91-92页 |
| 5.4.4 影响机制 | 第92-93页 |
| 5.5 ZrC涂层组织结构的影响因素综合分析 | 第93-94页 |
| 5.6 本章小结 | 第94-96页 |
| 6 CVD工艺制备ZrC涂层的机理研究 | 第96-109页 |
| 6.1 CVD ZrC反应机理分析 | 第96-99页 |
| 6.1.1 C_3H_6的热化学分解 | 第96-97页 |
| 6.1.2 ZrBr_4的还原反应 | 第97-98页 |
| 6.1.3 ZrC的合成反应 | 第98-99页 |
| 6.2 CVD ZrC涂层的沉积过程分析 | 第99-100页 |
| 6.3 CVD ZrC涂层的生长机理分析 | 第100-107页 |
| 6.3.1 (111)晶面择优取向的生长行为 | 第101-103页 |
| 6.3.2 (200)晶面择优取向的生长行为 | 第103-104页 |
| 6.3.3 (220)晶面择优取向的生长行为 | 第104-107页 |
| 6.4 本章小结 | 第107-109页 |
| 7 ZrC涂层的烧蚀性能及机理研究 | 第109-127页 |
| 7.1 ZrC涂层的抗烧蚀性能 | 第109-111页 |
| 7.2 ZrC涂层的烧蚀行为 | 第111-121页 |
| 7.2.1 不同结构ZrC涂层烧蚀后的物相结构 | 第111-112页 |
| 7.2.2 (200)型ZrC涂层的烧蚀行为 | 第112-117页 |
| 7.2.3 (220)型ZrC涂层的烧蚀行为 | 第117-121页 |
| 7.3 ZrC涂层的烧蚀机理 | 第121-125页 |
| 7.3.1 ZrC涂层的烧蚀热力学分析 | 第121-123页 |
| 7.3.2 ZrC涂层的烧蚀机理 | 第123-125页 |
| 7.4 本章小结 | 第125-127页 |
| 8 结论 | 第127-130页 |
| 创新点 | 第130-131页 |
| 参考文献 | 第131-146页 |
| 作者简历及在学研究成果 | 第146-150页 |
| 学位论文数据集 | 第150页 |