| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-14页 |
| ·铁电材料 | 第10-12页 |
| ·铁磁材料 | 第12页 |
| ·磁电材料及其研究进展 | 第12-14页 |
| ·薄膜材料测试表征方法以及发展概况 | 第14-17页 |
| ·单轴拉伸法 | 第15页 |
| ·悬臂梁弯曲法 | 第15-16页 |
| ·衬底曲率法 | 第16页 |
| ·纳米压痕法 | 第16页 |
| ·鼓包法 | 第16-17页 |
| ·本文选题意义和研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 铁电薄膜的制备及实验测试分析方法 | 第19-27页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第19-22页 |
| ·薄膜制备方法 | 第19-20页 |
| ·实验用品 | 第20页 |
| ·PZT、BNT薄膜制备 | 第20-22页 |
| ·鼓包样品的制备 | 第22-24页 |
| ·实验设备及测试平台 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3、Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3/Ni薄膜多场耦合性能测试分析 | 第27-44页 |
| ·制备参数对PZT薄膜铁电性能的影响 | 第27-32页 |
| ·退火温度对PZT薄膜铁电性能的影响 | 第27-30页 |
| ·退火环境对PZT薄膜铁电性能的影响 | 第30-31页 |
| ·薄膜厚度对PZT薄膜铁电性能的影响 | 第31-32页 |
| ·PZT多场鼓包测试分析 | 第32-39页 |
| ·PZT薄膜材料弹性模量和残余应力分析 | 第32-34页 |
| ·PZT薄膜材料弹性刚度系数c13和压电系数e31测试分析 | 第34-37页 |
| ·电场对PZT薄膜弹性模量的影响 | 第37-38页 |
| ·油压载荷对PZT薄膜电滞回线的影响 | 第38-39页 |
| ·PZT/Ni多场鼓包测试分析 | 第39-43页 |
| ·电场对PZT/Ni薄膜磁滞回线的影响 | 第39-41页 |
| ·磁场对PZT/Ni薄膜电滞回线的影响 | 第41-42页 |
| ·油压载荷对PZT/Ni薄膜磁滞回线的影响 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电薄膜力电耦合测试分析 | 第44-56页 |
| ·制备工艺对BNT薄膜铁电性能的影响 | 第44-50页 |
| ·退火温度对BNT薄膜铁电性能的影响 | 第44-46页 |
| ·退火氛围对BNT薄膜铁电性能的影响 | 第46-47页 |
| ·薄膜厚度对BNT薄膜铁电性能的影响 | 第47-48页 |
| ·掺杂对BNT薄膜铁电性能的影响 | 第48-50页 |
| ·BNT薄膜力电耦合测试分析 | 第50-54页 |
| ·鼓包法测试BNT薄膜样品的弹性模量和残余应力 | 第50-51页 |
| ·BNT薄膜材料弹性刚度系数c_(13)和压电系数e_(31)测试分析 | 第51-52页 |
| ·电场对BNT薄膜弹性模量的调控 | 第52-53页 |
| ·油压对BNT薄膜电滞回线的影响 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·工作总结 | 第56-57页 |
| ·工作展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录A: 个人简历、攻读硕士学位期间发表学术论文 | 第66页 |
