| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| ·论文的选题背景 | 第12-15页 |
| ·柔性显示技术发展状况 | 第12-13页 |
| ·柔性显示器衬底材料 | 第13-15页 |
| ·不锈钢表面超精密加工技术国内外研究现状 | 第15-17页 |
| ·不锈钢机械抛光研究 | 第15-16页 |
| ·不锈钢化学抛光研究 | 第16页 |
| ·不锈钢电化学抛光研究 | 第16页 |
| ·不锈钢电化学机械抛光研究 | 第16-17页 |
| ·不锈钢化学机械抛光研究 | 第17页 |
| ·化学机械抛光技术 | 第17-22页 |
| ·化学机械抛光概述 | 第17-18页 |
| ·抛光机主要参数对CMP的影响 | 第18-19页 |
| ·抛光垫对CMP的影响 | 第19-20页 |
| ·抛光液各成分对CMP的影响 | 第20-22页 |
| ·不锈钢特性 | 第22-23页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·课题来源 | 第23页 |
| ·主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第二章 试验条件与准备 | 第26-30页 |
| ·研究环境条件 | 第26页 |
| ·抛光试验台 | 第26-27页 |
| ·试验样品 | 第27页 |
| ·检测仪器及设备 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 抛光液成分的选择 | 第30-50页 |
| ·磨料的选择 | 第30-34页 |
| ·试验条件及安排 | 第31页 |
| ·试验结果与分析 | 第31-34页 |
| ·氧化剂的选择 | 第34-39页 |
| ·试验条件及安排 | 第34-35页 |
| ·试验结果与分析 | 第35-39页 |
| ·pH调节剂的选择 | 第39-42页 |
| ·试验条件及安排 | 第39-40页 |
| ·试验结果与分析 | 第40-42页 |
| ·分散剂的选择 | 第42-45页 |
| ·试验条件及安排 | 第42-43页 |
| ·试验结果与分析 | 第43-45页 |
| ·活性剂的选择 | 第45-49页 |
| ·试验条件及安排 | 第45-46页 |
| ·试验结果与分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 抛光液设计 | 第50-74页 |
| ·双氧水-草酸型抛光液的配制 | 第50-57页 |
| ·试验方案选择 | 第50-51页 |
| ·试验条件及安排 | 第51页 |
| ·正交试验表 | 第51-53页 |
| ·试验结果分析 | 第53-56页 |
| ·抛光液抛光方案 | 第56-57页 |
| ·三氯化铁-草酸型抛光液的配制 | 第57-64页 |
| ·试验方案选择 | 第57-58页 |
| ·试验条件及安排 | 第58页 |
| ·正交试验表 | 第58-60页 |
| ·试验结果分析 | 第60-63页 |
| ·抛光液抛光方案 | 第63-64页 |
| ·双氧水-三氯化铁型抛光液的配制 | 第64-73页 |
| ·双氧水与三氯化铁配比研究 | 第64-66页 |
| ·试验方案选择 | 第66页 |
| ·试验条件及安排 | 第66-67页 |
| ·正交试验表 | 第67-68页 |
| ·试验结果分析 | 第68-72页 |
| ·抛光液最优配比验证与抛光方案 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 抛光液抛光化学机理 | 第74-90页 |
| ·抛光试验设计 | 第74页 |
| ·酸性环境中Cl-对304不锈钢的腐蚀 | 第74-77页 |
| ·酸性环境中双氧水对304不锈钢的作用 | 第77页 |
| ·三氯化铁对304不锈钢的蚀刻 | 第77-81页 |
| ·不同浓度三氯化铁溶液氧化还原电位随时间的变化 | 第77-79页 |
| ·蚀刻速率与三氯化铁蚀刻液浓度的关系 | 第79页 |
| ·邻菲罗啉分光光度法测定S2和S4的Fe~(2+)含量 | 第79-81页 |
| ·双氧水与三氯化铁交互作用 | 第81-86页 |
| ·类Fenton反应对304不锈钢抛光的作用 | 第81-84页 |
| ·利用ICP测定抛光废液中Fe、Cr、Ni元素含量 | 第84-86页 |
| ·利用XRD对抛光后不锈钢片进行物相分析 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87-90页 |
| 第六章 抛光工艺参数研究 | 第90-99页 |
| ·试验方案选择 | 第90页 |
| ·试验条件及安排 | 第90页 |
| ·正交试验表 | 第90-92页 |
| ·试验结果分析与验证 | 第92-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第七章 结论与展望 | 第99-102页 |
| ·研究结论 | 第99-100页 |
| ·创新点 | 第100-101页 |
| ·不足与展望 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-108页 |
| 致谢 | 第108-110页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果目录 | 第110页 |